| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 概述 | 第7-10页 |
| 1-1 研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1-2 国内外发展状况 | 第8页 |
| 1-3 主要研究内容 | 第8-10页 |
| 第二章 多路气体流量控制系统总体方案设计 | 第10-17页 |
| 2-1 控制系统概述 | 第10-11页 |
| 2-2 气体流量检测模块 | 第11-13页 |
| 2-3 流量控制器方案设计 | 第13-14页 |
| 2-4 执行模块 | 第14-15页 |
| 2-5 系统总体方案 | 第15-17页 |
| 第三章 气体流量模糊控制器设计 | 第17-31页 |
| 3-1 模糊控制器设计要求 | 第17-18页 |
| 3-2 模糊控制器结构设计 | 第18-19页 |
| 3-3 模糊规则的选择和模糊推理 | 第19-24页 |
| 3-3-1 模糊语言变量的确定 | 第19页 |
| 3-3-2 语言值隶属函数的确定 | 第19-22页 |
| 3-3-3 模糊控制规则的建立 | 第22-23页 |
| 3-3-4 模糊推理 | 第23-24页 |
| 3-4 解模糊及比例因子确定 | 第24-27页 |
| 3-5 FUZZY工具箱仿真 | 第27-29页 |
| 3-6 模糊控制器的改进 | 第29-31页 |
| 第四章 气体流量控制器硬件设计 | 第31-44页 |
| 4-1 单片机与外围接口电路设计 | 第31-38页 |
| 4-1-1 模数转换器TLC0834与单片机的接口设计 | 第31-34页 |
| 4-1-2 数模转换器TLC5620与单片机的接口设计 | 第34-36页 |
| 4-1-3 键盘显示模块与单片机的接口设计 | 第36-37页 |
| 4-1-4 数据存储器扩展 | 第37-38页 |
| 4-1-5 复位电路设计 | 第38页 |
| 4-2 信号调理电路设计 | 第38-41页 |
| 4-2-1 0-10mA到0-5V转换电路设计 | 第38-39页 |
| 4-2-2 0-5V到4-20mA转换电路设计 | 第39-41页 |
| 4-3 电路抗干扰设计 | 第41-44页 |
| 4-3-1 电路板器件布局 | 第41-42页 |
| 4-3-2 地线设计 | 第42页 |
| 4-3-3 去耦、滤波和隔离 | 第42-44页 |
| 第五章 气体流量控制器软件设计 | 第44-54页 |
| 5-1 Keil uVision2编译环境 | 第44-45页 |
| 5-2 数据采集程序设计 | 第45-46页 |
| 5-3 数据处理程序设计 | 第46-48页 |
| 5-3-1 数字滤波 | 第46-48页 |
| 5-3-2 模糊控制算法程序设计 | 第48页 |
| 5-4 数据输出程序设计 | 第48-49页 |
| 5-5 主程序及其他程序设计 | 第49-52页 |
| 5-5-1 初始化程序及延时程序 | 第50页 |
| 5-5-2 看门狗程序 | 第50页 |
| 5-5-3 键盘显示中断程序 | 第50-52页 |
| 5-6 软件调试 | 第52-54页 |
| 第六章 系统仿真验证及试验结果 | 第54-61页 |
| 6-1 系统仿真 | 第54-57页 |
| 6-2 试验环境介绍与试验结果 | 第57-61页 |
| 6-2-1 试验设备 | 第57-58页 |
| 6-2-2 试验模型 | 第58-59页 |
| 6-2-3 试验结果 | 第59-61页 |
| 第七章 总结与展望 | 第61-62页 |
| 附录 多路气体流量控制器程序清单 | 第62-71页 |
| 学位论文期间发表的学术论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-74页 |