基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| 外文摘要 | 第3-22页 |
| 第1章 引言 | 第22-42页 |
| 1． 1 研究背景 | 第22-24页 |
| 1． 1． 1 MEMS和微系统 | 第22-23页 |
| 1． 1． 2 MEMS和微系统应用领域 | 第23-24页 |
| 1． 2 微泵、微阀的种类和现状 | 第24-39页 |
| 1． 2． 1 微阀 | 第24-27页 |
| 1． 2． 2 微泵 | 第27-37页 |
| 1． 2． 3 微驱动器的国内外发展近况 | 第37-39页 |
| 1． 3 本课题的意义和主要研究工作 | 第39-42页 |
| 第2章 微驱动器的基本结构、工作原理和工艺方案 | 第42-57页 |
| 2． 1 微驱动器的基本结构 | 第42-43页 |
| 2． 2 微驱动器的工作原理 | 第43-54页 |
| 2． 2． 2 PZT复合薄板的工作原理 | 第44-53页 |
| 2． 2． 3 微阀的工作原理 | 第53-54页 |
| 2． 3 微阀的工艺设计方案 | 第54-55页 |
| 2． 4 小结 | 第55-57页 |
| 第3章 微驱动器的计算机模拟设计 | 第57-68页 |
| 3． 1 计算机辅助设计 | 第57页 |
| 3． 2 IntelliSuite结构体系 | 第57-59页 |
| 3． 3 微阀工艺流程模拟 | 第59-61页 |
| 3． 4 微阀腐蚀模拟 | 第61-62页 |
| 3． 5 微驱动器复合薄板的模拟分析 | 第62-67页 |
| 3． 5． 1 驱动电压对复合薄板形变挠度的影响 | 第63-64页 |
| 3． 5． 2 复合薄板厚度对形变挠度的影响 | 第64-65页 |
| 3． 5． 3 对微驱动器复合薄板动态特性的分析 | 第65-67页 |
| 3． 6 对微驱动器复合薄板动态特性的分析 | 第67-68页 |
| 第4章 微驱动器的工艺设计及制作方法 | 第68-81页 |
| 4． 1 微驱动器关键加工工艺概述 | 第68-75页 |
| 4． 1． 1 薄膜制备技术 | 第68-69页 |
| 4． 1． 2 双面光刻技术 | 第69-70页 |
| 4． 1． 3 腐蚀工艺技术 | 第70-73页 |
| 4． 1． 4 反应离子刻蚀 | 第73-74页 |
| 4． 1． 5 掩膜版设计 | 第74-75页 |
| 4． 2 微驱动器的制作流程 | 第75-80页 |
| 4． 2． 1 微阀的制作 | 第77-79页 |
| 4． 2． 2 驱动泵腔的制作 | 第79页 |
| 4． 2． 3 微驱动器的封接 | 第79-80页 |
| 4． 3 小结 | 第80-81页 |
| 第5章 微驱动器的实验分析 | 第81-94页 |
| 5． 1 微阀的制备研究 | 第81-87页 |
| 5． 1． 1 微阀实验过程 | 第81-83页 |
| 5． 1． 2 分析影响微阀制备的各因素 | 第83-84页 |
| 5． 1． 3 改进方案 | 第84-86页 |
| 5． 1． 4 实际微阀结构 | 第86-87页 |
| 5． 2 微阀的测试 | 第87-89页 |
| 5． 2． 1 微阀的开、关特性 | 第87-89页 |
| 5． 2． 2 微阀的静态过流特性 | 第89页 |
| 5． 3 PZT复合薄板的性能测试 | 第89-90页 |
| 5． 4 微驱动器的性能测量分析 | 第90-93页 |
| 5． 4． 1 流量测试装置 | 第90-91页 |
| 5． 4． 2 微驱动器流量与频率的实验分析 | 第91-92页 |
| 5． 4． 3 微驱动器背压测试方案 | 第92-93页 |
| 5． 5 小结 | 第93-94页 |
| 结论 | 第94-97页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第97-98页 |
| 致谢 | 第98-99页 |
| 参考文献 | 第99-104页 |
| 独创性声明 | 第104页 |
