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微控制器MC68HC908RF2中嵌入式Flash的老化试验的失效分析及良品率提高

第一章 绪论第1-16页
   ·存储器发展简介第7页
   ·EPROM 与 EEPROM 的工作原理第7-9页
     ·雪崩击穿载流子注入型悬浮栅MOS管(FAMOS)第7-8页
     ·浮栅隧道氧化层MOS 管(FLOTOX 管第8-9页
   ·闪速存储技术(Flash)第9-16页
     ·分散栅闪速存储器(SGF)的工作原理第10-13页
     ·闪速存储技术架构第13-14页
     ·闪速存储技术的发展状况第14-16页
第二章 摩托罗拉微控制器简介第16-24页
   ·新一代八位微控制器M68HC08 简介第16-17页
   ·摩托罗拉8 位嵌入式Flash 微控制器第17-20页
     ·Flash 微处理器的参数第18-19页
     ·嵌入式 Flash 微控制器第19-20页
   ·课题研究背景及目标第20-24页
     ·数据传输标准第20页
     ·摩托罗拉以M68HC908RF2 为控制器的电子车锁介绍第20-21页
     ·摩托罗拉M68HC908RF2 微控制器的简介第21-24页
第三章 芯片制造的工艺流程第24-37页
   ·半导体工艺介绍第24-28页
     ·掩模板设计与制作第24页
     ·单晶生长和晶圆的制造第24-25页
     ·集成电路晶圆的生产第25-26页
     ·集成电路的封装测试第26-28页
   ·MC68HC908RF2 工艺介绍第28-37页
     ·、MC68HC908RF2 前道工艺介绍第28-30页
     ·MC68HC908RF2 微处理器中 Flash 的参数第30-35页
     ·MC68HC908RF2 微处理器测试环境第35页
     ·MC68HC908RF2 微处理器参数测试与功能测试第35-37页
第四章 嵌入式 Flash微控制器的老化试验第37-50页
   ·可靠性分析试验的目的与原理第37-44页
     ·老化试验背景介绍(Burn-in)第37-42页
     ·摩托罗拉标准产品的老化试验(MBI)第42-44页
   ·高温操作寿命试验(HTOL)第44-45页
   ·10K 擦写循环应力试验(107hrs)和 T50 应力试验(130hrs)第45-48页
     ·10K 擦写循环应力试验的状态字第46页
     ·10K 擦写循环应力试验(T50)流程第46-48页
   ·最终测试(Final Test)第48-50页
第五章 可靠性试验第50-60页
   ·微电子器件与电路的失效规律第50-51页
     ·浴盆曲线第50-51页
     ·筛选的目的第51页
   ·IC 筛选主要内容和能力范围第51-54页
     ·IC 筛选环境测试第51-53页
     ·摩托罗拉 IC 筛选应力试验具体流程第53-54页
   ·微电子器件的可靠性问题第54-60页
     ·微电子器件的失效模式及失效机理第55-56页
     ·微电子器件的失效模式及失效机理第56-60页
第六章 失效分析及良品率提高第60-73页
   ·MC68HC908RF2 生产实际状况介绍第60-61页
   ·MC68HC908RF2 (SC510300)的试验方案简述第61-62页
   ·MC68HC908RF2 (SC510300)的失效分析第62-65页
     ·整板或半板失效第62-63页
     ·老化板上的器件插槽导致 Bin2 失效第63-64页
     ·编程干扰失效第64-65页
   ·对编程干扰的器件进行失效分析第65-68页
   ·温度对 Stop_IDD的影响第68-69页
   ·MC68HC908RF2 的良品率提高第69-73页
     ·MC68HC908RF2 的良品率研究第69-72页
     ·MC68HC908RF2 的良品率比较第72-73页
第七章 结论第73-74页
参考文献第74-76页
发表论文和参加科研情况说明第76-77页
附录第77-79页
致谢第79页

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