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表面纳米结构量子膜(铝、金)的制备及电子输运特性研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-14页
第一章 绪论第14-18页
   ·课题的研究背景第14-15页
   ·金属纳米颗粒膜的制备方法第15-17页
     ·热蒸发镀膜法第16页
     ·溅射镀膜法第16页
     ·离子镀膜法第16页
     ·分子束外延法第16页
     ·电化学沉积法第16-17页
   ·论文选题的目的和意义第17页
   ·本章小结第17-18页
第二章 表面纳米结构量子膜(铝、金)的制备第18-37页
   ·表面纳米结构量子膜的制备流程以及实验器材第18-20页
     ·超声波清洗仪第19页
     ·真空蒸发镀膜仪第19页
     ·低压直流溅射仪第19页
     ·化学气相沉积仪第19页
     ·恒温干燥箱第19-20页
     ·半导体手动探针台第20页
     ·实验原料第20页
   ·纳米结构衬底的制备第20-25页
     ·纳米结构衬底制备工艺第21-22页
     ·纳米结构衬底的表征(SEM)第22-25页
   ·纳米结构衬底隔离层生长第25-28页
     ·衬底隔离氧化层生长工艺第26-28页
     ·隔离层结构表征 (SEM)第28页
   ·表面金属(铝、金)膜的制备第28-35页
     ·蒸发镀膜制备铝量子膜第29-31页
     ·铝量子膜的表面表征第31-33页
     ·溅射镀膜制备金量子膜第33页
     ·金量子膜的表面表征第33-35页
   ·本章小结第35-37页
第三章 薄膜中电子输运模型第37-47页
   ·引言第37-38页
   ·drude 模型的电子输运特性第38-39页
     ·drude 模型第38页
     ·drude 模型中的电子动力学方程及电导率第38-39页
   ·势垒量子遂穿模型电子输运特性第39-40页
   ·kronig-penny 势场的电子输运模型第40-46页
     ·kronig-penny 势场第41-42页
     ·kronig-penny 势场中的电子能谱第42-45页
     ·kronig-penny 势场中的电子本征函数第45-46页
   ·本章小结第46-47页
第四章 库伦阻塞效应第47-57页
   ·库仑阻塞效应第47页
   ·单电子充能过程第47-48页
   ·库仑阻塞中量子态占据情况第48-49页
   ·金属-量子岛-金属双通道结构模型第49-56页
     ·单空穴导电过程第50-51页
     ·单电子导电过程第51-52页
     ·金属-量子岛-金属结构中单电子电流和偏置电压的关系第52-55页
     ·金属-量子岛-金属结构中多电子电流和偏置电压的关系第55-56页
   ·本章小结第56-57页
第五章 金属量子膜的导电特性分析第57-69页
   ·铝量子膜伏安特性分析第57-59页
   ·金量子膜伏安特性分析第59-68页
     ·线性伏安特性曲线的分析第62页
     ·线性台阶状伏安特性曲线的分析第62-65页
     ·指数状伏安特性曲线的分析第65-66页
     ·指数状峰位伏安特性曲线的分析第66-67页
     ·混合形状位伏安特性曲线的分析第67-68页
   ·本章小结第68-69页
第六章 总结与展望第69-71页
致谢第71-72页
参考文献第72-75页
研究成果及发表的学术论文第75-76页
导师简介第76-77页
作者简介第77页

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