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ZAO透明导电薄膜的制备与性能

第1章 绪论第1-27页
   ·功能陶瓷材料概述第11-13页
     ·功能陶瓷材料研究现状第11-12页
     ·功能陶瓷材料的应用与前景第12-13页
   ·透明导电薄膜研究现状第13-15页
   ·ZAO透明导电薄膜概述第15-25页
     ·ZAO透明导电薄膜的研究现状第15-17页
     ·ZAO的特性及掺杂原理第17-20页
     ·ZAO透明导电薄膜制备技术及原理第20-24页
     ·ZAO透明导电薄膜的应用与前景第24-25页
   ·论文目的与意义第25-27页
第2章 ZnO/Al_2O_3复合粉末的制备与性能第27-40页
   ·引言第27-28页
   ·粉末的制备与还原第28-31页
   ·粉末的性能测试结果与分析第31-39页
     ·粉末粒度及形貌分第31-33页
     ·粉末的XRD分析第33-35页
     ·粉末前驱体的纯度分析第35页
     ·粉末前驱体的TG/DSC分析第35-36页
     ·还原粉末性能分析第36-39页
   ·本章小结第39-40页
第3章 ZnO/Al_2O_3陶瓷靶材的制备与性能第40-55页
   ·引言第40-42页
   ·ZnO/Al_2O_3陶瓷靶材的制备第42-43页
   ·ZnO/Al_2O_3陶瓷靶材的性能测试结果与分析第43-54页
     ·靶材力学性能分析第43-46页
     ·靶材的致密化分析第46-47页
     ·靶材显微组织及物相分析第47-51页
     ·靶材溅射后的组织形貌第51-52页
     ·靶材的导电性分析第52-54页
   ·本章小结第54-55页
第4章 Zno/Al_2O_3透明导电薄膜制备与性能第55-66页
   ·引言第55-56页
   ·薄膜的制备第56-58页
   ·薄膜的性能测试与分析第58-65页
     ·薄膜的电学性能分析第58-63页
     ·薄膜的光学性能分析第63-65页
   ·本章小结第65-66页
结论第66-68页
致谢第68-69页
参考文献第69-73页
附录第73-74页
攻读硕士学位期间论文发表及科研情况第74页

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