| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·类金刚石薄膜的研究背景 | 第10页 |
| ·类金刚石薄膜的结构及其应用 | 第10-13页 |
| ·类金刚石薄膜的结构 | 第10-11页 |
| ·类金刚石薄膜的特性 | 第11-12页 |
| ·类金刚石薄膜的应用 | 第12-13页 |
| ·计算材料科学研究的意义 | 第13-14页 |
| ·类金刚石模拟的工具及意义 | 第14-16页 |
| ·本文使用 Materials Studio 简介 | 第14-16页 |
| ·类金刚石薄膜网络结构模拟的意义 | 第16页 |
| ·本论文的研究目的和内容 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第2章 研究方法与基础理论 | 第18-29页 |
| ·经典分子动力学 | 第18-23页 |
| ·分子动力学的基础理论 | 第18-19页 |
| ·分子动力学的基本算法 | 第19-20页 |
| ·平衡系综 | 第20-22页 |
| ·势函数简介 | 第22-23页 |
| ·第一性原理及相关理论简介 | 第23-28页 |
| ·第一性原理简介 | 第23-24页 |
| ·密度泛函理论基本原理 | 第24-26页 |
| ·平面波与赝势 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 类金刚石薄膜模型的建立与结构分析 | 第29-47页 |
| ·类金刚石薄膜的建模 | 第31-34页 |
| ·分子动力学过程 | 第32-33页 |
| ·非晶碳的第一性原理计算 | 第33-34页 |
| ·非晶碳的结构 | 第34-42页 |
| ·非晶碳网络结构的径向分布函数分析 | 第34-35页 |
| ·非晶碳网络结构的键长键角及配位分析 | 第35-38页 |
| ·密度与 sp3杂化含量的关系 | 第38页 |
| ·环结构分析 | 第38-41页 |
| ·内应力分析 | 第41-42页 |
| ·淬火速率对非晶碳模型的影响 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 类金刚石薄膜的电子性质 | 第47-55页 |
| ·相关碳材料的电子态 | 第47-48页 |
| ·非晶碳模型的电子态密度分析 | 第48-53页 |
| ·不同密度非晶态模型的电子态密度分析 | 第48-50页 |
| ·环结构对电子态密度的影响 | 第50页 |
| ·缺陷态密度分析 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第5章 类金刚石薄膜制备条件的搭建 | 第55-64页 |
| ·类金刚石薄膜的制备方法 | 第55-57页 |
| ·实验条件的搭建 | 第57-62页 |
| ·本实验室实验条件现状 | 第57页 |
| ·磁控溅射的改造 | 第57-59页 |
| ·化学气相沉积 | 第59-62页 |
| ·电场辅助化学气相沉积 | 第62页 |
| ·类金刚石薄膜的实验设想 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 作者简介 | 第73页 |