热驱动微型泵的性能分析和实验研究
| 第1章 绪论 | 第1-32页 |
| ·微电子机械系统发展概况 | 第11-13页 |
| ·微机电系统中尚须研究的问题 | 第13-18页 |
| ·微机械加工工艺 | 第13-15页 |
| ·微机械的驱动机制 | 第15-16页 |
| ·微尺度物体的传热 | 第16-17页 |
| ·微通道中的流动 | 第17-18页 |
| ·微小物体间的摩擦 | 第18页 |
| ·微流动系统研究概况 | 第18-30页 |
| ·微型流量传感器 | 第18-19页 |
| ·微型泵 | 第19-25页 |
| ·微型阀 | 第25-26页 |
| ·微通道 | 第26-27页 |
| ·典型微流动系统 | 第27-30页 |
| ·微流动系统模拟和测试 | 第30页 |
| ·本论文的目的和任务 | 第30-32页 |
| 第2章 热驱动膜片的性能分析和结构优化 | 第32-55页 |
| ·膜片温度响应与温度分布 | 第33-44页 |
| ·计算模型及简化假定 | 第33页 |
| ·控制方程 | 第33-36页 |
| ·计算方法 | 第36-38页 |
| ·计算结果及分析 | 第38-44页 |
| ·膜片振动分析 | 第44-50页 |
| ·计算模型 | 第44-45页 |
| ·控制方程 | 第45-46页 |
| ·计算方法 | 第46页 |
| ·计算结果及分析 | 第46-50页 |
| ·膜片结构优化 | 第50-53页 |
| ·铝膜大小和位置的影响 | 第50-51页 |
| ·复合膜厚度的影响 | 第51-52页 |
| ·加热区域位置的影响 | 第52-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 第3章 悬臂梁式微型阀的性能分析 | 第55-65页 |
| ·悬臂梁式微型阀的开启压力 | 第55-58页 |
| ·悬臂梁式微型阀的静态过流特性 | 第58-61页 |
| ·计算方法 | 第58-59页 |
| ·计算结果及分析 | 第59-61页 |
| ·悬臂梁式微型阀的动态过流特性 | 第61-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| 第4章 微型泵的性能模拟 | 第65-75页 |
| ·薄膜式微型泵的启动 | 第65-66页 |
| ·热驱动薄膜泵的整体模拟 | 第66-70页 |
| ·驱动膜片 | 第67页 |
| ·微型阀 | 第67-68页 |
| ·流体通道 | 第68页 |
| ·泵的整体模拟 | 第68-70页 |
| ·模拟结果及分析 | 第70-74页 |
| ·微型泵的频率特性 | 第70-72页 |
| ·流量随功率的变化 | 第72-73页 |
| ·流量随进出口压差的变化 | 第73-74页 |
| ·小结 | 第74-75页 |
| 第5章 器件加工和实验测试 | 第75-101页 |
| ·热驱动微型泵的制作 | 第75-79页 |
| ·驱动膜片的制作 | 第75-76页 |
| ·微型阀的制作 | 第76-77页 |
| ·封装 | 第77-79页 |
| ·驱动膜片温度测量 | 第79-88页 |
| ·热像仪测温原理 | 第79-82页 |
| ·测温设备与过程 | 第82-84页 |
| ·测温结果与分析 | 第84-88页 |
| ·测温误差的初步分析 | 第88页 |
| ·膜片振动测试 | 第88-95页 |
| ·测试原理 | 第89-90页 |
| ·实验装置与测试过程 | 第90-92页 |
| ·测试结果与分析 | 第92-95页 |
| ·微型阀流量测量 | 第95-97页 |
| ·实验装置 | 第95-96页 |
| ·实验结果与分析 | 第96-97页 |
| ·微型泵的流量测量 | 第97-99页 |
| ·实验装置 | 第97-98页 |
| ·实验结果与分析 | 第98-99页 |
| ·小结 | 第99-101页 |
| 第6章 结论 | 第101-104页 |
| 参考文献 | 第104-112页 |
| 攻读博士期间发表的论文 | 第112-113页 |
| 致谢 | 第113页 |
