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高性能微通道板研制

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-9页
1 绪论第9-15页
   ·研究的背景和意义第9页
   ·国内外的研究现状第9-11页
   ·研究内容和论文安排第11-15页
     ·研究目标第11-12页
     ·主要技术难点第12页
     ·总体研制方案第12页
     ·材料研制的技术途径第12-13页
     ·工艺研究的技术途径第13-15页
2 微通道板基本原理第15-21页
   ·低噪声、高增益、长寿命微通道板第16-17页
   ·超小孔径微通道板(USPMCP)第17-18页
   ·弯曲通道微通道板(C~2MCP)第18页
   ·高输出技术微通道板(HOT MCP)第18页
   ·先进技术的微通道板(ATMCP)第18页
   ·“无离子阻挡膜”、“薄离子阻挡膜”微通道板第18-19页
   ·体导电玻璃微通道板第19-21页
3 工艺路线和关键技术分析第21-24页
   ·利用现有实体边实心工艺研制线实施工艺研究,具体流程是第21页
   ·关键技术分析第21-24页
     ·降低噪声技术第21-22页
     ·高增益及其稳定技术第22页
     ·耐高温烘烤的实体边材料及其工艺技术第22-24页
4 研制过程第24-32页
   ·材料及其成型工艺技术研究过程第24-25页
     ·皮料玻璃拉管和芯料制棒工艺技术的研究过程第24页
     ·实体边材料及其工艺技术的研究过程第24-25页
   ·制板工艺技术研究过程第25-32页
     ·实现小孔径、大开口面积比MCP的工艺设计第26-27页
     ·熔压工艺技术研究第27-28页
     ·磨、抛工艺技术研究第28-29页
     ·化学腐蚀工艺技术研究第29页
     ·氢还原工艺技术研究第29-30页
     ·蒸镀电极第30页
     ·综合测试及试验分析第30-32页
5 技术攻关总体进展情况和本项目取得的技术突破点第32-36页
   ·技术攻关总体进展情况第32-35页
     ·材料研究及加工工艺基本定型第32页
     ·设计出几种实体边材料和工艺,解决高温烘烤变形的技术难题第32-33页
     ·视场质量得到明显改善第33页
     ·暗电流密度比标准型微通道板低一个数量级第33-34页
     ·高增益第34页
     ·综合制管效果良好第34-35页
   ·主要技术突破点第35-36页
6 技术指标完成情况第36-37页
7 结论第37-38页
攻读学位期间获奖和发表论文情况第38-39页
致谢第39-40页
参考文献第40-43页

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