| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| §1-1 研究背景与意义 | 第9-10页 |
| §1-2 纳米和纳米薄膜材料 | 第10-12页 |
| 1-2-1 纳米材料概述 | 第10页 |
| 1-2-2 纳米薄膜材料概述 | 第10-12页 |
| §1-3 Co、Al_2O_3 薄膜的性质及用途 | 第12-13页 |
| §1-4 Co/Al_2O_3/Co 纳米薄膜研究的科学意义、国内外现状及进展 | 第13-15页 |
| 1-4-1 纳米薄膜研究的科学意义 | 第13-14页 |
| 1-4-2 纳米薄膜研究的现状 | 第14-15页 |
| 1-4-3 纳米薄膜生长方面的研究进展 | 第15页 |
| §1-5 Co、Al_2O_3 纳米薄膜制备技术概述 | 第15-16页 |
| §1-6 薄膜厚度与薄膜表面粗糙度 | 第16-18页 |
| 1-6-1 薄膜厚度 | 第16-17页 |
| 1-6-2 薄膜表面粗糙度 | 第17-18页 |
| §1-7 本论文的研究目的和研究重点 | 第18-20页 |
| 第二章 Co、Al_2O_3纳米薄膜的制备及表征方法 | 第20-28页 |
| §2-1 离子束溅射基本原理 | 第20-22页 |
| §2-2 薄膜的制备 | 第22-23页 |
| 2-2-1 薄膜沉积系统 | 第22页 |
| 2-2-2 薄膜沉积过程 | 第22-23页 |
| 2-2-3 薄膜基片处理方法 | 第23页 |
| 2-2-4 薄膜厚度样品的制备 | 第23页 |
| §2-3 薄膜特性的表征方法 | 第23-28页 |
| 2-3-1 薄膜表面形貌的表征 | 第24页 |
| 2-3-2 薄膜微观结构的表征 | 第24-25页 |
| 2-3-3 薄膜的磁学性能表征 | 第25-27页 |
| 2-3-4 薄膜成分的表征 | 第27-28页 |
| 第三章 Co 在 Si 基片表面的形核过程及生长机制 | 第28-48页 |
| §3-1 Co 薄膜表面形貌演化的研究 | 第28-31页 |
| 3-1-1 Co 薄膜的拓扑形貌分析 | 第28页 |
| 3-1-2 Co 薄膜粗糙度分析 | 第28-30页 |
| 3-1-3 Co 薄膜的平均厚度分析 | 第30-31页 |
| §3-2 Co 薄膜表面形貌演化的动力学标度分析 | 第31-33页 |
| §3-3 Co 薄膜表面二维形貌的演化 | 第33-35页 |
| §3-4 Co 薄膜的峰密度分析 | 第35页 |
| §3-5 Co 薄膜微观结构分析 | 第35-38页 |
| 3-5-1 Co 薄膜的X 射线衍射分析 | 第35-37页 |
| 3-5-2 Co 薄膜的掠入射衍射分析 | 第37-38页 |
| §3-6 Co 薄膜成分分析 | 第38-44页 |
| 3-6-1 X 射线光电子能谱仪 | 第38-39页 |
| 3-6-2 X 射线光电子谱图拟合步骤 | 第39-40页 |
| 3-6-3 Co 薄膜的X 射线光电子谱图分析 | 第40-44页 |
| §3-7 Co 薄膜的磁电阻特性分析 | 第44-46页 |
| 3-7-1 Co 薄膜的磁滞回线分析 | 第44-45页 |
| 3-7-2 Co 薄膜的磁电阻分析 | 第45-46页 |
| §3-8 本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 Al_2O_3在 Si 基片表面的形核过程及生长机制 | 第48-59页 |
| §4-1 Al_2O_3 薄膜表面形貌演化的研究 | 第48-51页 |
| 4-1-1 Al_2O_3 薄膜的拓扑形貌分析 | 第48-50页 |
| 4-1-2 Al_2O_3 薄膜的粗糙度分析 | 第50页 |
| 4-1-3 薄膜的平均厚度分析 | 第50-51页 |
| §4-2 Al_2O_3 薄膜表面形貌演化的动力学标度分析 | 第51-52页 |
| §4-3 Al_2O_3 薄膜二维表面形貌的演化与分析 | 第52-54页 |
| 4-3-1 Al_2O_3 薄膜的二维形貌演化 | 第52-54页 |
| 4-3-2 Al_2O_3 薄膜的峰密度分析 | 第54页 |
| §4-4 Al_2O_3 薄膜微观结构分析 | 第54-55页 |
| 4-4-1 Al_2O_3 薄膜的X 射线衍射分析 | 第54-55页 |
| 4-4-2 Al_2O_3 掠入射衍射分析 | 第55页 |
| §4-5 Al_2O_3 薄膜成分分析 | 第55-58页 |
| 4-5-1 定性分析 | 第56-57页 |
| 4-5-2 半定量分析 | 第57-58页 |
| §4-6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 退火处理对纳米薄膜的影响 | 第59-65页 |
| §5-1 退火后纳米薄膜的表面形貌分析 | 第59-61页 |
| 5-1-1 Co 纳米薄膜的表面形貌 | 第59-60页 |
| 5-1-2 Al_2O_3 纳米薄膜的表面形貌 | 第60-61页 |
| §5-2 退火后纳米薄膜的微观结构 | 第61-63页 |
| 5-2-1 Co 纳米薄膜的微观结构 | 第61-62页 |
| 5-2-2 Al_2O_3 纳米薄膜的微观结构 | 第62-63页 |
| §5-3 退火后Co 薄膜的磁学性能 | 第63-64页 |
| §5-4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第70页 |
