超声改变SU-8胶溶胀性的机理及试验研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-16页
·UV-LIGA工艺中SU-8胶的溶胀问题	第10-12页
·减小SU-8胶溶胀的研究现状	第12-14页
·超声波技术在聚合物中的应用现状	第14-15页
·课题研究内容	第15-16页
2 交联SU-8胶的溶胀机理及测量方法研究	第16-21页
·SU-8胶模的溶胀机理分析	第16-19页
·聚合物溶胀理论	第16-17页
·交联SU-8胶分子结构	第17-19页
·胶模溶胀测量方法	第19-20页
·本章小结	第20-21页
3 超声改变SU-8胶溶胀性的试验研究	第21-39页
·SU-8胶溶胀的超声处理试验	第21-28页
·试验材料与装置	第21-24页
·掩膜板的设计	第24-25页
·试验步骤	第25-28页
·试验结果与讨论	第28-37页
·超声对显影过程中SU-8胶模溶胀的影响	第28-31页
·超声对电铸过程中SU-8胶模溶胀的影响	第31-35页
·超声对微器件尺寸精度的影响	第35-36页
·SU-8胶模表面接触角分析	第36-37页
·本章小结	第37-39页
4 超声改变SU-8胶溶胀性机理	第39-44页
·SU-8胶亲水性与溶胀的关系	第39-41页
·SU-8胶内应力与溶胀的关系	第41-43页
·本章小结	第43-44页
结论	第44-45页
参考文献	第45-48页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第48-49页
致谢	第49-50页