| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·主要工作内容 | 第14-15页 |
| 第2章 激光微区光谱分析方法研究 | 第15-21页 |
| ·激光微等离子体光谱分析 | 第15-18页 |
| ·激光微等离子体的形成机理 | 第15-17页 |
| ·激光微等离子体光谱分析原理 | 第17-18页 |
| ·定量分析原理 | 第18-21页 |
| ·谱线强度与元素含量的关系 | 第18页 |
| ·光谱定量分析基本方法 | 第18-19页 |
| ·膜层材料原子比率分析方法 | 第19-21页 |
| 第3章 实验装置与方法 | 第21-23页 |
| ·实验装置 | 第21页 |
| ·样品制备 | 第21-22页 |
| ·实验方法 | 第22-23页 |
| 第4章 薄膜激光微等离子体辐射强度研究 | 第23-31页 |
| ·碳涂层对薄膜激光微等离子体光谱强度的影响 | 第23-26页 |
| ·碳涂层对分析线光谱强度的影响 | 第23-25页 |
| ·谱线强度随样品碳涂层厚度的变化 | 第25-26页 |
| ·辅助激发参数对薄膜激光微等离子体光谱强度的影响 | 第26-30页 |
| ·辅助电极高度对分析元素谱线强度的影响 | 第27-29页 |
| ·辅助电极间距对分析元素谱线强度的影响 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第5章 膜层材料原子比率分析法的准确度与应用 | 第31-44页 |
| ·准确度的检查 | 第31-36页 |
| ·镧锶钴氧薄膜分析 | 第31-33页 |
| ·锆钛酸铅薄膜分析 | 第33-36页 |
| ·激光微区光谱分析法在薄膜材料原子比率测定中的应用 | 第36-43页 |
| ·镧锶钴氧薄膜中Sr、La、Co的区域分析 | 第36-38页 |
| ·钛铝薄膜中Ti、Al的测定 | 第38-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第6章 结论 | 第44-45页 |
| 第7章 参考文献 | 第45-48页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49页 |