不锈钢表面磁控溅射制备硬质复合膜
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1. 绪论 | 第8-19页 |
| ·不锈钢简介 | 第8-9页 |
| ·不锈钢的含义 | 第8页 |
| ·不锈钢的分类 | 第8-9页 |
| ·不锈钢的特性 | 第9页 |
| ·奥氏体不锈钢 | 第9页 |
| ·新型硬质薄膜 | 第9-13页 |
| ·氮化钛薄膜简介 | 第9-11页 |
| ·碳化钛薄膜简介 | 第11-12页 |
| ·碳化铬薄膜简介 | 第12页 |
| ·复合膜的研究现状及发展 | 第12-13页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第13-19页 |
| ·薄膜制备技术的发展 | 第13-14页 |
| ·薄膜的制备技术 | 第14-15页 |
| ·磁控溅射技术 | 第15-19页 |
| 2. 实验内容 | 第19-27页 |
| ·实验过程 | 第19页 |
| ·薄膜的制备 | 第19-23页 |
| ·实验材料 | 第19-21页 |
| ·磁控溅射设备 | 第21-22页 |
| ·薄膜制备过程 | 第22页 |
| ·实验工艺 | 第22-23页 |
| ·薄膜微观分析 | 第23-24页 |
| ·薄膜力学性能分析 | 第24-26页 |
| ·薄膜的硬度测试 | 第24-25页 |
| ·薄膜与基体的结合力测试 | 第25-26页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第26页 |
| ·薄膜的耐腐蚀性测试 | 第26-27页 |
| 3. 磁控溅射单层薄膜表面形貌及其力学性能的分析 | 第27-38页 |
| ·氮化钛薄膜的表征及分析 | 第27-32页 |
| ·扫描电镜（SEM）分析 | 第27-29页 |
| ·氮化钛膜的XRD 分析 | 第29-30页 |
| ·氮化钛薄膜的力学性能分析 | 第30-32页 |
| ·碳化铬薄膜的表征及分析 | 第32-37页 |
| ·扫描电镜（SEM）分析 | 第32-35页 |
| ·碳化铬膜的XRD | 第35页 |
| ·碳化铬薄膜的力学性能分析 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4. 磁控溅射复合膜的表面形貌及其力学性能的分析 | 第38-48页 |
| ·TiC/TiN 复合膜的表征及分析 | 第38-42页 |
| ·扫描电镜（SEM）分析 | 第38-40页 |
| ·TiC/TiN 复合膜的XRD 分析 | 第40-41页 |
| ·TiC/TiN 复合膜的力学性能分析 | 第41-42页 |
| ·TiN/Cr_3C_2 复合薄膜的表征及分析 | 第42-46页 |
| ·扫描电镜（SEM）分析 | 第42-44页 |
| ·TiN/Cr_3C_2 复合薄膜的XRD 分析 | 第44页 |
| ·TiN/Cr_3C_2 复合膜的力学性能分析 | 第44-46页 |
| ·单层膜与复合膜的硬度比较 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5. 薄膜的电化学实验 | 第48-57页 |
| ·腐蚀的分类 | 第48页 |
| ·电化学原理简介 | 第48-49页 |
| ·电化学分析的定义、特点及分类 | 第48-49页 |
| ·极化曲线的相关理论 | 第49页 |
| ·电化学表征实验 | 第49-51页 |
| ·电化学实验装置和过程 | 第49-50页 |
| ·电化学实验的内容 | 第50-51页 |
| ·单层膜与复合膜的耐蚀性研究 | 第51-56页 |
| ·单层膜在NaCl 介质中的极化曲线分析 | 第51-54页 |
| ·复合膜在NaCl 介质中的极化曲线分析 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 6. 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
