| 摘要 | 第1-12页 |
| Abstract | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-41页 |
| ·软磁材料应用和发展趋势 | 第14-15页 |
| ·非晶及纳米晶软磁合金薄膜 | 第15-27页 |
| ·形成机理与制备方法 | 第15-18页 |
| ·非晶软磁合金薄膜的分类及性能 | 第18-19页 |
| ·纳米晶软磁合金薄膜的研究现状 | 第19-27页 |
| ·铁氧体纳米晶软磁合金薄膜 | 第19页 |
| ·FeCo-I系列纳米晶软磁合金薄膜 | 第19-23页 |
| ·金属绝缘介质系列软磁合金颗粒膜 | 第23-25页 |
| ·Fe/FeCo-X-N系列纳米晶软磁合金薄膜 | 第25-27页 |
| ·非晶合金薄膜的纳米晶化机制 | 第27-30页 |
| ·纳米晶化机制的起源 | 第27-28页 |
| ·纳米晶薄膜成分组成与合金元素作用 | 第28-30页 |
| ·纳米晶软磁合金薄膜的交换耦合作用 | 第30-33页 |
| ·本研究的目的及内容 | 第33-35页 |
| 参考文献 | 第35-41页 |
| 第二章 实验及研究方法 | 第41-47页 |
| ·实验设备及材料 | 第41-42页 |
| ·实验方法及原理 | 第42-43页 |
| ·样品测试分析方法 | 第43-46页 |
| ·X射线衍射分析 | 第43页 |
| ·台阶膜厚测量仪 | 第43页 |
| ·扫描电子显微分析 | 第43-44页 |
| ·四探针电阻测量仪 | 第44-45页 |
| ·振动样品磁力计 | 第45页 |
| ·磁导率测量仪 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-47页 |
| 第三章 Fe-Co-O纳米晶软磁合金薄膜 | 第47-63页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·实验工艺参数 | 第47-48页 |
| ·结果及讨论 | 第48-61页 |
| ·工作气压选取 | 第48-49页 |
| ·工作气压对薄膜结构的影响 | 第48-49页 |
| ·工作气压对薄膜厚度的影响 | 第49页 |
| ·氧含量影响 | 第49-56页 |
| ·XRD结构分析 | 第49-50页 |
| ·SEM微观形貌观察 | 第50-51页 |
| ·电学特性测试 | 第51-52页 |
| ·磁学特性测试 | 第52-55页 |
| ·高频特性测试 | 第55-56页 |
| ·薄膜厚度影响 | 第56-61页 |
| ·XRD结构分析 | 第56-57页 |
| ·SEM微观形貌观察 | 第57页 |
| ·磁学特性测试 | 第57-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 第四章 Fe-Co-Cr和Fe-Co-Cr-N纳米晶软磁合金薄膜 | 第63-88页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·实验工艺参数 | 第63-64页 |
| ·结果及讨论 | 第64-86页 |
| ·Cr含量的影响 | 第64-71页 |
| ·XRD结构分析 | 第64-65页 |
| ·SEM微观形貌观察 | 第65-69页 |
| ·电学特性测试 | 第69页 |
| ·磁学特性测试 | 第69-71页 |
| ·氮含量的影响 | 第71-78页 |
| ·XRD结构分析 | 第71-72页 |
| ·SEM微观形貌观察 | 第72-76页 |
| ·电学特性测试 | 第76页 |
| ·磁学特性测试 | 第76-78页 |
| ·厚度的影响 | 第78-86页 |
| ·XRD结构分析 | 第78-79页 |
| ·SEM微观形貌观察 | 第79-80页 |
| ·磁学特性测试 | 第80-85页 |
| ·高频特性测试 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-88页 |
| 第五章 Fe-CO-Ti-N纳米晶软磁合金薄膜 | 第88-100页 |
| ·引言 | 第88页 |
| ·实验工艺参数 | 第88-89页 |
| ·结果及讨论 | 第89-97页 |
| ·XRD结构分析 | 第89-90页 |
| ·电学特性测试 | 第90-91页 |
| ·磁学特性测试 | 第91-94页 |
| ·高频特性测试 | 第94-97页 |
| 参考文献 | 第97-100页 |
| 第六章 结论 | 第100-102页 |
| 致谢 | 第102-103页 |
| 攻读硕士学位期间科研成果 | 第103-105页 |
| 攻读硕士学位期间参与研究的科研项目 | 第105页 |
| 攻读硕士学位期间获得奖励 | 第105页 |