放电等离子体极紫外光谱测量及分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-24页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8页 |
| ·传统光学光刻技术 | 第8-11页 |
| ·光学光刻技术相关参数 | 第8-9页 |
| ·193nm 浸没式光刻技术 | 第9-11页 |
| ·极紫外光刻技术 | 第11-14页 |
| ·极紫外光刻技术优势及问题 | 第11-12页 |
| ·极紫外光刻光源 | 第12-14页 |
| ·极紫外光刻技术研究现状 | 第14-23页 |
| ·极紫外光刻技术主要研究机构 | 第14-16页 |
| ·放电等离子体EUV光源国内外研究现状 | 第16-23页 |
| ·课题研究的内容 | 第23-24页 |
| 第2章 毛细管放电Z箍缩基本理论 | 第24-37页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·毛细管放电Z箍缩效应 | 第24-30页 |
| ·Z箍缩效应 | 第24-25页 |
| ·毛细管放电Z箍缩 | 第25-26页 |
| ·雪靶模型 | 第26-29页 |
| ·多次箍缩对雪耙模型的修正 | 第29-30页 |
| ·等离子体的辐射过程 | 第30-32页 |
| ·韧致辐射 | 第30-31页 |
| ·复合辐射 | 第31-32页 |
| ·重要参数的计算 | 第32-36页 |
| ·中心波长的能级跃迁 | 第32-33页 |
| ·毛细管的击穿特性 | 第33-34页 |
| ·约束等离子体所需要的电流 | 第34-35页 |
| ·等离子体电离度的计算 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 毛细管放电EUV光源装置介绍及测试 | 第37-53页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·装置介绍及使用说明 | 第37-44页 |
| ·电源系统 | 第38-40页 |
| ·放电系统 | 第40-41页 |
| ·控制及测量系统 | 第41-44页 |
| ·实验装置测试 | 第44-47页 |
| ·放电室真空性能测试 | 第44页 |
| ·预脉冲电源测试 | 第44-46页 |
| ·主脉冲电源测试 | 第46-47页 |
| ·罗兰圆谱仪的标定 | 第47-52页 |
| ·谱仪主要参数和单色仪性能 | 第47页 |
| ·罗兰圆谱仪的标定 | 第47-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 放电光谱测量及分析 | 第53-70页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·氩气放电光谱测量及分析 | 第53-58页 |
| ·氩气放电测量结果 | 第53-56页 |
| ·氩气放电光谱分析 | 第56-58页 |
| ·氮气放电光谱测量及分析 | 第58-65页 |
| ·氮气放电测量结果 | 第58-61页 |
| ·氮气放电光谱分析 | 第61-65页 |
| ·氦气放电光谱测量及分析 | 第65-68页 |
| ·氦气放电测量结果 | 第65页 |
| ·氦气放电光谱分析 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-80页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
