| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·研究背景 | 第10-15页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·压控振荡器对BST薄膜性能的要求 | 第12-15页 |
| ·BST薄膜材料概况 | 第15-20页 |
| ·BST材料的结构与性能 | 第15-17页 |
| ·BST薄膜的研究现状 | 第17-20页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第20-22页 |
| 第二章 BST薄膜的制备与表征方法 | 第22-33页 |
| ·BST薄膜制备方法 | 第22-23页 |
| ·磁控溅射基本原理 | 第23-26页 |
| ·BST薄膜微观结构表征 | 第26-30页 |
| ·X射线衍射分析 | 第26-28页 |
| ·原子力显微镜分析 | 第28-29页 |
| ·扫描电子显微镜分析 | 第29-30页 |
| ·薄膜厚度测试 | 第30页 |
| ·电学性能测试 | 第30-33页 |
| ·BST薄膜测试样品上电极的制备 | 第30-31页 |
| ·介电性能的测量 | 第31-33页 |
| 第三章 Mn~(2+)掺杂BST薄膜制备及其性能研究 | 第33-49页 |
| ·Mn~(2+)掺杂BST薄膜机理分析 | 第33页 |
| ·靶材制备 | 第33-37页 |
| ·靶材制备工艺流程 | 第34-36页 |
| ·靶材分析 | 第36-37页 |
| ·BST薄膜的制备及其介电性能研究 | 第37-45页 |
| ·溅射粒子能量分析 | 第37-38页 |
| ·衬底温度对薄膜的影响 | 第38-42页 |
| ·溅射功率对薄膜的影响 | 第42-43页 |
| ·溅射气氛对薄膜的影响 | 第43-45页 |
| ·后退火处理对BST薄膜介电性能的影响 | 第45页 |
| ·优化工艺条件下BST薄膜的介电性能 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 BST薄膜介电性能的优化 | 第49-63页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3/SiN双层薄膜研究 | 第49-55页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3/SiN双层薄膜的制备 | 第49-50页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3/SiN双层薄膜的介电性能研究 | 第50-53页 |
| ·Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3/SiN双层薄膜的串联电容模型 | 第53-55页 |
| ·BST薄膜的氧等离子体处理 | 第55-62页 |
| ·处理功率对BST薄膜的影响 | 第56-59页 |
| ·处理时间对BST薄膜的影响 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 BST薄膜介质变容管微细加工研究 | 第63-74页 |
| ·变容管结构设计 | 第63-66页 |
| ·电容尺寸设计 | 第63-65页 |
| ·变容管加工工艺流程 | 第65-66页 |
| ·变容管微细加工研究 | 第66-72页 |
| ·图形微细加工工艺流程 | 第66-68页 |
| ·电极图形加工研究 | 第68-71页 |
| ·BST薄膜的腐蚀 | 第71-72页 |
| ·变容管性能分析 | 第72-73页 |
| ·BST薄膜变容管的电容值分析 | 第72-73页 |
| ·BST薄膜变容管的损耗分析 | 第73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 主要结论与创新点 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-85页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第85-86页 |
| 在读期间已发表的论文 | 第85页 |
| 已授权和申请中的专利 | 第85-86页 |
