阵列孔微细电解加工基础技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-28页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·微细电解加工相关技术的研究与发展现状 | 第12-25页 |
| ·掩膜微细电解加工 | 第12-13页 |
| ·微细电解液射流加工 | 第13-14页 |
| ·微细轴的电解加工 | 第14-15页 |
| ·高频窄脉冲电解加工 | 第15-18页 |
| ·超短脉冲电解加工 | 第18-21页 |
| ·基于扫描探针显微镜的纳米电化学加工 | 第21-22页 |
| ·电解加工间隙控制和状态检测 | 第22-25页 |
| ·微细电解加工相关技术的研究与发展现状小结 | 第25页 |
| ·课题来源及研究目的和意义 | 第25-26页 |
| ·主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 微细电解加工机理分析与数值仿真 | 第28-59页 |
| ·电解加工机理 | 第28-32页 |
| ·微细电解加工影响因素分析 | 第32-38页 |
| ·加工精度影响因素分析 | 第32-35页 |
| ·加工效率影响因素分析 | 第35-38页 |
| ·电解产物对加工的影响分析 | 第38-49页 |
| ·微细电解加工间隙流动特性分析 | 第38-40页 |
| ·电解产物对加工质量的影响 | 第40页 |
| ·电解产物蓄积对工件蚀除速度的影响 | 第40-44页 |
| ·工具电极回退移除电解产物策略 | 第44-45页 |
| ·基于工具电极回退的阳极蚀除速度分析 | 第45-49页 |
| ·微细电解加工数值仿真 | 第49-58页 |
| ·电解加工数值模拟方法 | 第50-51页 |
| ·侧壁绝缘/非绝缘电极加工对比仿真 | 第51-53页 |
| ·侧壁绝缘层厚度对加工影响仿真 | 第53-54页 |
| ·绝缘层结构形式对加工影响仿真 | 第54-56页 |
| ·异型截面电极加工仿真 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第3章 微细电解加工装置研制 | 第59-79页 |
| ·加工装置系统设计 | 第59-63页 |
| ·主轴伺服进给机构 | 第63-67页 |
| ·伺服电机及性能 | 第63-64页 |
| ·运动精度分析 | 第64-67页 |
| ·控制系统 | 第67-72页 |
| ·系统软硬件组成及实现 | 第67-69页 |
| ·加工间隙状态检测控制 | 第69-72页 |
| ·高频窄脉冲电源 | 第72-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第4章 电解加工用微细电极制备 | 第79-95页 |
| ·微细轴在线电解制备 | 第79-86页 |
| ·微细轴电解制备方案 | 第79-81页 |
| ·基于电场分布的微细轴形状分析 | 第81-84页 |
| ·微细轴制备工艺实验 | 第84-86页 |
| ·微细阵列电极制备 | 第86-89页 |
| ·阵列电极的LIGA 制备路线 | 第86-87页 |
| ·阵列电极制备结果及分析 | 第87-89页 |
| ·微细电极侧壁绝缘 | 第89-94页 |
| ·旋涂法制备绝缘膜 | 第90-93页 |
| ·侧壁绝缘电极制备样件 | 第93-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第5章 微细孔电解加工工艺实验 | 第95-119页 |
| ·微细孔电解加工伺服进给控制 | 第95-97页 |
| ·进给过程中工具电极运动方式对加工的影响 | 第97-105页 |
| ·工具电极间歇回退对加工的影响 | 第97-100页 |
| ·工具电极高频激振对加工的影响 | 第100-105页 |
| ·主要加工参数对微细孔电解加工的影响 | 第105-110页 |
| ·电解液成分和浓度对加工的影响 | 第105-107页 |
| ·加工电压对加工的影响 | 第107-108页 |
| ·脉冲参数对加工的影响 | 第108-110页 |
| ·微细孔电解加工工艺实验 | 第110-118页 |
| ·未绝缘单电极微细孔电解加工 | 第110-111页 |
| ·侧壁绝缘单电极微细孔电解加工 | 第111-113页 |
| ·阵列电极微细型孔加工 | 第113-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 第6章 结论 | 第119-123页 |
| ·论文的主要结论 | 第119-120页 |
| ·本文的创新点 | 第120-121页 |
| ·对本研究工作的展望 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第132-133页 |
