| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-15页 |
| 1.1.1 激光惯性约束聚变(ICF)系统简介 | 第13-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-23页 |
| 1.2.1 光学抛光加工技术简介 | 第15-20页 |
| 1.2.2 环形抛光技术的理论研究 | 第20-23页 |
| 1.2.3 环抛工艺研究 | 第23页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 BK7光学玻璃环抛加工表面质量及材料去除率研究 | 第25-42页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 环形抛光的工件材料去除率数学模型 | 第25-27页 |
| 2.2.1 基于Preston方程的工件材料去除率数学模型 | 第25-26页 |
| 2.2.2 其它抛光工件材料去除率模型简介 | 第26-27页 |
| 2.3 实验条件 | 第27-31页 |
| 2.3.1 实验仪器 | 第28页 |
| 2.3.2 实验材料 | 第28-30页 |
| 2.3.3 检测仪器 | 第30-31页 |
| 2.4 工件材料去除量实验 | 第31-34页 |
| 2.4.1 抛光盘转速对工件材料去除量的影响 | 第31-33页 |
| 2.4.2 抛光压力对工件材料去除量的影响 | 第33-34页 |
| 2.5 工件表面质量分析 | 第34-36页 |
| 2.5.1 抛光盘转速对工件表面质量的影响 | 第34-35页 |
| 2.5.2 抛光压力对工件表面质量的影响 | 第35-36页 |
| 2.6 BK7光学玻璃材料去除率实验 | 第36-40页 |
| 2.6.1 工件材料去除率测量方法 | 第36-37页 |
| 2.6.2 检测设备 | 第37-38页 |
| 2.6.3 抛光相对速度对工件材料去除率的影响 | 第38-39页 |
| 2.6.4 抛光压强对工件材料去除率的影响 | 第39-40页 |
| 2.7 BK7光学玻璃材料去除率数学模型 | 第40-41页 |
| 本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 BK7光学玻璃环抛工艺优化 | 第42-54页 |
| 3.1 实验条件及准备 | 第42-44页 |
| 3.1.1 实验设备 | 第42-44页 |
| 3.2 BK7光学玻璃环抛工艺实验 | 第44-52页 |
| 3.2.1 工件偏心距对工件面形的影响 | 第44-47页 |
| 3.2.2 抛光转速比对工件面形的影响 | 第47-50页 |
| 3.2.3 修正盘偏心距对工件面形的影响 | 第50-52页 |
| 3.3 优化的工艺参数抛光结果 | 第52页 |
| 本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 大口径BK7光学平面玻璃加工工艺实验 | 第54-62页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 Φ300BK7平面玻璃加工过程简介 | 第54页 |
| 4.3 Φ300BK7平面玻璃磨削加工实验 | 第54-56页 |
| 4.3.1 磨削表面检测方法 | 第55-56页 |
| 4.4 Φ300BK7平面玻璃环抛加工实验 | 第56-58页 |
| 4.5 环抛接触区域的压强仿真分析 | 第58-60页 |
| 4.5.1 抛光沥青 | 第58页 |
| 4.5.2 工件与沥青盘的接触区域压强仿真 | 第58-60页 |
| 本章小结 | 第60-62页 |
| 结论与展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69页 |