| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题背景、价值和意义 | 第10-12页 |
| 1.2 课题的研究历史、现状及存在的问题 | 第12-15页 |
| 1.3 本论文的结构安排 | 第15-17页 |
| 第二章 碳纳米管和场致离子发射 | 第17-26页 |
| 2.1 碳纳米管简述 | 第17-19页 |
| 2.2 碳纳米管的制备 | 第19-21页 |
| 2.2.1 直接电弧放电法 | 第20页 |
| 2.2.2 激光蒸发法 | 第20-21页 |
| 2.2.3 气相沉积法 | 第21页 |
| 2.3 碳纳米管的场致电子发射机理 | 第21-22页 |
| 2.4 场致离子发射机理 | 第22-25页 |
| 2.4.1 离子源简介 | 第22-23页 |
| 2.4.2 金属场电离理论 | 第23-24页 |
| 2.4.3 碳纳米管场致离子发射机理 | 第24-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 碳纳米管场致离子发射阵列的制备 | 第26-42页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 主要试剂和设备 | 第26-27页 |
| 3.3 碳纳米管场致离子发射阵列的制备工艺 | 第27-34页 |
| 3.3.1 光刻工艺 | 第27-29页 |
| 3.3.2 催化剂的蒸镀 | 第29-32页 |
| 3.3.3 碳纳米管的制备 | 第32-34页 |
| 3.4 影响碳纳米管的因素 | 第34-39页 |
| 3.4.1 生长时间的影响 | 第34-35页 |
| 3.4.2 催化剂Fe的影响 | 第35-38页 |
| 3.4.3 等离子体的影响 | 第38-39页 |
| 3.5 碳纳米管场致电子发射的测试 | 第39-41页 |
| 3.5.1 场发射测试系统 | 第39-40页 |
| 3.5.2 场发射测试结果 | 第40-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 碳纳米管微束阵列场致离子发射的测试 | 第42-67页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 主要试剂与仪器 | 第42页 |
| 4.3 碳纳米管场致离子发射理论模型 | 第42-44页 |
| 4.4 场致离子发射的二极管模型 | 第44-57页 |
| 4.4.1 场致离子发射二极管模型的仿真 | 第44-47页 |
| 4.4.2 场致离子发射二极管模型的测试 | 第47-57页 |
| 4.4.2.1 氢气的场致电离离子发射情况 | 第48-51页 |
| 4.4.2.2 甲烷的场致电离离子发射情况 | 第51-52页 |
| 4.4.2.3 氧气的场致电离离子发射情况 | 第52-54页 |
| 4.4.2.4 不同长度的碳纳米管的场致电离离子发射情况 | 第54-56页 |
| 4.4.2.5 离子电流的检验 | 第56-57页 |
| 4.5 场致离子发射的三极管结构 | 第57-65页 |
| 4.5.1 场致离子发射的三极管模型的仿真 | 第57-58页 |
| 4.5.2 栅极组件的设计和制备 | 第58-65页 |
| 4.5.2.1 栅极组件的设计 | 第58-62页 |
| 4.5.2.2 栅极的封接 | 第62-63页 |
| 4.5.2.3 阴极组件的封装 | 第63-65页 |
| 4.5.2.4 三极管场致离子发射的测试原理 | 第65页 |
| 4.6 本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第75-76页 |