气浮台垂向运动气压控制研究与实现
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究背景及研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 气浮台国内外研究现状及其分析 | 第11-15页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 研究综述 | 第14-15页 |
| 1.3 课题研究内容 | 第15-19页 |
| 1.3.1 课题的项目背景 | 第15-17页 |
| 1.3.2 本文的主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 气浮台垂向运动系统建模 | 第19-29页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 气浮台垂向运动原理 | 第19-22页 |
| 2.3 气浮台垂向运动结构建模 | 第22-28页 |
| 2.3.1 电气比例调压阀建模 | 第22-25页 |
| 2.3.2 垂向运动控制腔建模 | 第25-27页 |
| 2.3.3 上平台运动建模 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 基于ESO和CNF的位移控制研究 | 第29-56页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 复合非线性反馈控制设计 | 第29-42页 |
| 3.2.1 CNF线性反馈控制律设计 | 第30页 |
| 3.2.2 CNF非线性反馈控制律的设计 | 第30-32页 |
| 3.2.3 CNF反馈控制律稳定性分析 | 第32-34页 |
| 3.2.4 垂向运动CNF位移控制器设计与仿真 | 第34-42页 |
| 3.3 扰动状态观测器设计 | 第42-55页 |
| 3.3.1 扩张状态观测器设计 | 第42-46页 |
| 3.3.2 扩张状态观测器分析 | 第46-51页 |
| 3.3.3 垂向运动扩张观测器设计与仿真 | 第51-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 基于滑模的气压跟踪研究 | 第56-71页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 滑模变结构控制基本理论 | 第56-59页 |
| 4.3 滑模控制器设计 | 第59-65页 |
| 4.4 抖振 | 第65-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-71页 |
| 第5章 气浮台垂向运动系统设计与实现 | 第71-84页 |
| 5.1 引言 | 第71页 |
| 5.2 硬件设计 | 第71-74页 |
| 5.2.1 传感器 | 第72-73页 |
| 5.2.2 信号采集卡 | 第73页 |
| 5.2.3 比例阀 | 第73页 |
| 5.2.4 补偿系统 | 第73-74页 |
| 5.3 软件设计 | 第74-78页 |
| 5.3.1 系统开发平台的选择 | 第74-75页 |
| 5.3.2 控制系统软件总体设计 | 第75-77页 |
| 5.3.3 上位机用户界面设计 | 第77-78页 |
| 5.4 垂向运动控制实验 | 第78-83页 |
| 5.5 小结 | 第83-84页 |
| 结论 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 攻读硕士学位期间发表的专利 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
