基于白光光谱干涉技术的薄膜测量方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 薄膜的发展和应用 | 第9-10页 |
| 1.2 薄膜测试技术 | 第10-13页 |
| 1.2.1 接触式测试 | 第10页 |
| 1.2.2 非接触式测试 | 第10-13页 |
| 1.3 光谱干涉技术现状与问题 | 第13-14页 |
| 1.4 论文主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 白光光谱干涉测量原理 | 第15-25页 |
| 2.1 干涉原理 | 第15-18页 |
| 2.2 部分相干光理论 | 第18-20页 |
| 2.3 薄膜特性 | 第20-21页 |
| 2.4 白光光谱干涉测量绝对距离与薄膜特性 | 第21-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 测试系统构建 | 第25-33页 |
| 3.1 测试系统 | 第25-26页 |
| 3.2 系统硬件 | 第26-30页 |
| 3.2.1 运动模块 | 第26页 |
| 3.2.2 干涉模块 | 第26-28页 |
| 3.2.3 光谱采集 | 第28-30页 |
| 3.3 系统软件 | 第30-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 白光光谱干涉数据处理 | 第33-55页 |
| 4.1 相位提取 | 第33-36页 |
| 4.1.1 傅立叶变换 | 第33-34页 |
| 4.1.2 时间相移 | 第34-35页 |
| 4.1.3 空间相移 | 第35页 |
| 4.1.4 包络法 | 第35-36页 |
| 4.2 方法分析比较 | 第36-41页 |
| 4.2.1 理想情况 | 第36-39页 |
| 4.2.2 不同噪声等级 | 第39-41页 |
| 4.3 优化拟合算法 | 第41-52页 |
| 4.3.1 局部优化 | 第41-47页 |
| 4.3.1.1 基于非线性相位预估初值 | 第42-44页 |
| 4.3.1.2 基于反射率预估初值 | 第44-47页 |
| 4.3.1.3 局部优化算法 | 第47页 |
| 4.3.2 全局优化 | 第47-52页 |
| 4.3.2.1 模拟退火法 | 第47-49页 |
| 4.3.2.2 遗传算法 | 第49-52页 |
| 4.4 方法分析比较 | 第52-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第55-75页 |
| 5.1 系统性能 | 第55-65页 |
| 5.1.1 光源的稳定性 | 第55-57页 |
| 5.1.2 载物台稳定性 | 第57页 |
| 5.1.3 分光棱镜 | 第57-60页 |
| 5.1.4 干涉物镜 | 第60-62页 |
| 5.1.5 光纤与光谱仪 | 第62-64页 |
| 5.1.6 倾斜角度 | 第64-65页 |
| 5.2 实验结果与分析 | 第65-74页 |
| 5.2.1 绝对距离测量 | 第65-70页 |
| 5.2.2 薄膜参数测试 | 第70-74页 |
| 5.3 本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
