| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 硅外延装备概述 | 第11-13页 |
| 1.2.1 外延工艺 | 第11-12页 |
| 1.2.2 硅外延装备 | 第12-13页 |
| 1.3 硅外延装备工艺反应系统简介 | 第13-18页 |
| 1.3.1 工艺反应系统基本构成与功能 | 第14-16页 |
| 1.3.2 工艺反应系统典型工作流程 | 第16-18页 |
| 1.4 论文内容与结构安排 | 第18-19页 |
| 1.5 本章小结 | 第19-20页 |
| 2 基于 UML 的软件需求建模 | 第20-29页 |
| 2.1 UML 概述 | 第20-21页 |
| 2.2 软件需求建模简介 | 第21-22页 |
| 2.3 功能需求 | 第22-26页 |
| 2.3.1 需求收集 | 第22-25页 |
| 2.3.2 整体用例模型 | 第25-26页 |
| 2.4 非功能需求 | 第26-28页 |
| 2.4.1 可用性 | 第27页 |
| 2.4.2 可靠性 | 第27页 |
| 2.4.3 性能 | 第27-28页 |
| 2.4.4 可支持性 | 第28页 |
| 2.4.5 设计约束 | 第28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 软件架构设计与建模 | 第29-43页 |
| 3.1 软件架构概述 | 第29-31页 |
| 3.1.1 软件架构定义 | 第29-30页 |
| 3.1.2 软件架构设计原则 | 第30-31页 |
| 3.2 PMC 软件架构设计 | 第31-42页 |
| 3.2.1 软件整体部署 | 第31-33页 |
| 3.2.2 软件架构模型 | 第33-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 基于设计模式的软件功能模块设计 | 第43-57页 |
| 4.1 软件设计模式 | 第43-45页 |
| 4.1.1 设计模式概述 | 第43-44页 |
| 4.1.2 设计模式分类以及常见的模式 | 第44-45页 |
| 4.2 基于单例模式与简单工厂模式的对象管理模块 | 第45-48页 |
| 4.2.1 单例模式 | 第45-46页 |
| 4.2.2 简单工厂模式 | 第46页 |
| 4.2.3 对象管理模块设计 | 第46-48页 |
| 4.3 基于策略模式与简单工厂模式的气体信息解析模块 | 第48-50页 |
| 4.3.1 策略模式 | 第48-49页 |
| 4.3.2 气体信息解析模块设计 | 第49-50页 |
| 4.4 基于状态模式的旋转电机状态控制模块 | 第50-54页 |
| 4.4.1 旋转电机状态及其跃迁模型 | 第50-52页 |
| 4.4.2 状态模式 | 第52页 |
| 4.4.3 旋转电机状态控制模块设计 | 第52-54页 |
| 4.5 基于适配器模式的单元驱动模块设计 | 第54-55页 |
| 4.5.1 适配器模式 | 第54-55页 |
| 4.5.2 单元驱动模块设计 | 第55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-57页 |
| 5 软件实现与测试 | 第57-72页 |
| 5.1 软件实现 | 第57-64页 |
| 5.1.1 实现环境 | 第57-58页 |
| 5.1.2 WCF 通信的实现 | 第58-61页 |
| 5.1.3 服务模块的实现 | 第61-62页 |
| 5.1.4 用户界面的实现 | 第62-64页 |
| 5.2 软件测试 | 第64-71页 |
| 5.2.1 软件测试概述 | 第64-65页 |
| 5.2.2 测试环境 | 第65页 |
| 5.2.3 单元测试 | 第65-68页 |
| 5.2.4 集成测试 | 第68-69页 |
| 5.2.5 系统测试 | 第69-71页 |
| 5.3 本章小结 | 第71-72页 |
| 6 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 全文总结 | 第72-73页 |
| 6.2 后续研究展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及研究成果 | 第78页 |