| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究情况 | 第9-11页 |
| 1.2.1 国外研究情况 | 第9-10页 |
| 1.2.2 国内研究情况 | 第10-11页 |
| 1.3 课题的主要研究内容及意义 | 第11-14页 |
| 第2章 试验样品及试验方案 | 第14-24页 |
| 2.1 试验样品 | 第14-18页 |
| 2.2 辐照试验方案 | 第18-22页 |
| 2.2.1 试验的辐射源 | 第18-19页 |
| 2.2.2 试验的条件及装置 | 第19-20页 |
| 2.2.3 电学参数测试及测试装置 | 第20-22页 |
| 2.3 退火试验方案 | 第22-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 双极型器件的电离辐照效应 | 第24-38页 |
| 3.1 辐射环境 | 第24-25页 |
| 3.1.1 核爆炸环境 | 第24-25页 |
| 3.1.2 空间辐射环境 | 第25页 |
| 3.1.3 模拟辐射源环境 | 第25页 |
| 3.1.4 工艺辐射环境 | 第25页 |
| 3.2 辐射对半导体器件的作用机理 | 第25-29页 |
| 3.2.1 位移辐射效应 | 第26页 |
| 3.2.2 电离辐射效应 | 第26-29页 |
| 3.3 双极晶体管的电离辐照效应 | 第29-35页 |
| 3.3.1 双极晶体管的电参数变化 | 第29-32页 |
| 3.3.2 电流增益的退化规律 | 第32-35页 |
| 3.4 双极晶体管的辐照加固 | 第35-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 钝化工艺对双极型器件的抗辐照性能的研究 | 第38-56页 |
| 4.1 钝化工艺对双极晶体管的抗辐照性能的研究 | 第38-46页 |
| 4.1.1 不同钝化层双极晶体管的辐照损伤 | 第38-43页 |
| 4.1.2 不同钝化层双极晶体管的辐照退化规律 | 第43-46页 |
| 4.2 钝化工艺对 JW117 抗辐照性能的影响 | 第46-48页 |
| 4.2.1 基准电压 | 第46-47页 |
| 4.2.2 电压调整率 | 第47-48页 |
| 4.2.3 电流调整率 | 第48页 |
| 4.3 钝化工艺的加固机理 | 第48-50页 |
| 4.4 双极晶体管的电离辐照效应的 Silvaco 模拟仿真 | 第50-55页 |
| 4.4.1 SilvacoTCAD 介绍 | 第50-51页 |
| 4.4.2 电离总剂量效应的仿真原理 | 第51-52页 |
| 4.4.3 双极晶体管电特性的仿真 | 第52-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 双极型器件的退火效应 | 第56-64页 |
| 5.1 等温退火效应 | 第56-59页 |
| 5.1.1 NPN 晶体管的等温退火效应 | 第56-58页 |
| 5.1.2 PNP 晶体管的等温退火效应 | 第58-59页 |
| 5.2 等时退火效应 | 第59-62页 |
| 5.2.1 NPN 晶体管的等时退火效应 | 第59-61页 |
| 5.2.2 PNP 晶体管的等时退火效应 | 第61-62页 |
| 5.3 退火机理分析 | 第62-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |