| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 光学全息术的发展，特点及应用 | 第8-9页 |
| 1.1.1 光学全息术的发展 | 第8页 |
| 1.1.2 光学全息术的特点及应用 | 第8-9页 |
| 1.2 数字全息术的发展及特点 | 第9-10页 |
| 1.2.1 数字全息术的发展 | 第9-10页 |
| 1.2.2 数字全息术的特点 | 第10页 |
| 1.3 数字全息显微术在微结构表面形貌测量中的应用 | 第10-12页 |
| 1.3.1 数字全息显微术用于微结构测量的意义 | 第10-11页 |
| 1.3.2 数字全息显微术在微结构形貌测量中的研究动态 | 第11-12页 |
| 1.4 本论文的研究目的和主要内容 | 第12-13页 |
| 第二章 数字全息显微技术概述 | 第13-32页 |
| 2.1 引言 | 第13页 |
| 2.2 数字全息显微术用于三维形貌测量的原理 | 第13-18页 |
| 2.2.1 光波的衍射和干涉 | 第13-15页 |
| 2.2.2 数字全息的记录和再现原理 | 第15-17页 |
| 2.2.3 数字全息三维形貌测量原理 | 第17-18页 |
| 2.3 离轴菲涅尔数字全息图的记录条件 | 第18-21页 |
| 2.4 数字全息的再现算法 | 第21-26页 |
| 2.4.1 菲涅尔变换法 | 第22-23页 |
| 2.4.2 卷积法 | 第23-25页 |
| 2.4.3 角谱法 | 第25-26页 |
| 2.5 自动聚焦 | 第26-28页 |
| 2.5.1 算法原理 | 第26页 |
| 2.5.2 聚焦判断函数 | 第26-28页 |
| 2.6 相位解包裹 | 第28-32页 |
| 2.6.1 相位解包算法原理 | 第29-30页 |
| 2.6.2 相位解包裹的数学模型 | 第30-32页 |
| 第三章 基于数字全息显微术的微结构表面形貌测量系统 | 第32-40页 |
| 3.1 硬件系统设计 | 第32-37页 |
| 3.1.1 系统光路设计 | 第32-34页 |
| 3.1.2 系统器件分析 | 第34-37页 |
| 3.2 软件设计 | 第37-40页 |
| 第四章 实验结果及分析 | 第40-49页 |
| 4.1 离轴菲涅尔数字全息术 | 第40-45页 |
| 4.1.1 系统可靠性验证试验 | 第40-42页 |
| 4.1.2 微透镜阵列模具表面形貌的测量 | 第42-45页 |
| 4.2 相移同轴像面数字全息 | 第45-49页 |
| 4.2.1 微透镜阵列模具的同轴数字全息测量 | 第46-47页 |
| 4.2.2 MEMS 器件的数字全息测量 | 第47-49页 |
| 第五章 工作总结及展望 | 第49-51页 |
| 5.1 本论文工作总结 | 第49页 |
| 5.2 工作展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
