| 摘要 | 第5-9页 |
| Abstract | 第9-14页 |
| 第一章 绪论 | 第18-38页 |
| 1.1 硬质薄膜概述 | 第18-21页 |
| 1.2 纳米多层膜超硬效应的实验研究 | 第21-27页 |
| 1.2.1 晶体氮化物纳米多层膜 | 第21-23页 |
| 1.2.2 纳米多层膜的“模板效应” | 第23-24页 |
| 1.2.3 非晶晶化的纳米多层膜 | 第24-25页 |
| 1.2.4 含碳化物的纳米多层膜 | 第25-27页 |
| 1.3 纳米多层膜超硬效应的理论研究 | 第27-35页 |
| 1.3.1 纳米多层膜的设计准则 | 第27-28页 |
| 1.3.2 纳米多层膜的强化机制 | 第28-35页 |
| 1.4 论文的研究内容 | 第35-38页 |
| 第二章 薄膜的制备与检测 | 第38-42页 |
| 2.1 薄膜的制备 | 第38-39页 |
| 2.1.1 制膜设备 | 第38页 |
| 2.1.2 样品制备 | 第38-39页 |
| 2.2 薄膜微结构的检测设备与方法 | 第39-42页 |
| 第三章 TiC 单层膜：制备技术对薄膜微结构和力学性能的影响 | 第42-56页 |
| 3.1 反应溅射 TiC 薄膜 | 第42-45页 |
| 3.1.1 样品制备 | 第42页 |
| 3.1.2 实验结果 | 第42-45页 |
| 3.2 非反应溅射 TiC 薄膜 | 第45-53页 |
| 3.2.1 实验设计与样品制备 | 第46-47页 |
| 3.2.2 制备参数对化学计量比 TiC 靶溅射薄膜的影响 | 第47-50页 |
| 3.2.3 靶成分对溅射 TiC 薄膜的结构和力学性能的影响 | 第50-52页 |
| 3.2.4 讨论 | 第52-53页 |
| 3.3 小结 | 第53-56页 |
| 第四章 TiC 与立方结构氮化物组成的纳米多层膜（TiC/TiN） | 第56-66页 |
| 4.1 实验设计与样品制备 | 第56-57页 |
| 4.2 实验结果 | 第57-62页 |
| 4.2.1 TiC_(0.8)/TiN 纳米多层膜 | 第57-60页 |
| 4.2.2 TiC_(1.0)/TiN 纳米多层膜 | 第60-62页 |
| 4.3 讨论 | 第62-65页 |
| 4.4 小结 | 第65-66页 |
| 第五章 TiC 与混合结构碳化物组成的纳米多层膜(TiC/WC) | 第66-72页 |
| 5.1 样品制备 | 第66页 |
| 5.2 实验结果 | 第66-69页 |
| 5.3 讨论 | 第69-71页 |
| 5.4 小结 | 第71-72页 |
| 第六章 TiC 和非晶组成的纳米多层膜（TiC/Si_3N_4、TiC/SiC） | 第72-84页 |
| 6.1 TiC/Si_3N_4纳米多层膜 | 第72-77页 |
| 6.1.1 样品制备 | 第72-73页 |
| 6.1.2 实验结果 | 第73-76页 |
| 6.1.3 讨论 | 第76-77页 |
| 6.2 TiC/SiC 纳米多层膜 | 第77-83页 |
| 6.2.1 样品制备 | 第77-78页 |
| 6.2.2 实验结果 | 第78-80页 |
| 6.2.3 讨论 | 第80-83页 |
| 6.3 小结 | 第83-84页 |
| 第七章 与 TiC 产生界面反应的纳米多层膜（TiC/B_4C） | 第84-92页 |
| 7.1 样品制备 | 第84-85页 |
| 7.2 实验结果 | 第85-88页 |
| 7.3 讨论 | 第88-89页 |
| 7.4 小结 | 第89-92页 |
| 第八章 调制结构对纳米多层膜超硬效应的影响 | 第92-102页 |
| 8.1 实验设计与样品制备 | 第92-95页 |
| 8.2 实验结果 | 第95-98页 |
| 8.3 讨论 | 第98-100页 |
| 8.5 小结 | 第100-102页 |
| 第九章 论文的主要结论、创新点及展望 | 第102-106页 |
| 9.1 主要结论 | 第102-104页 |
| 9.2 创新点 | 第104-105页 |
| 9.3 展望 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-116页 |
| 致谢 | 第116-117页 |
| 攻读博士学位期间发表论文 | 第117页 |
