| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第一章 前言 | 第11-13页 |
| ·研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·计算物理的意义 | 第12页 |
| ·本文的主要工作及创新 | 第12-13页 |
| 第二章 基本原理和方法 | 第13-34页 |
| ·第一性原理的概述 | 第13-18页 |
| ·量子力学基础 | 第13-14页 |
| ·第一性原理 | 第14-18页 |
| ·密度泛函理论概述 | 第18-22页 |
| ·Hohenberg-Kohn 定理 | 第18-20页 |
| ·Kohn-Sham 方程 | 第20-21页 |
| ·交换关联能泛函的求解方法 | 第21-22页 |
| ·密度泛函理论的应用 | 第22页 |
| ·薄膜生长过程的模拟方法 | 第22-28页 |
| ·分子动力学方法 | 第22-23页 |
| ·动力学蒙特卡洛方法(Kinetic Monte Carlo, KMC) | 第23-24页 |
| ·从头计算分子动力学方法 | 第24-27页 |
| ·几种方法的特点与对比 | 第27-28页 |
| ·自洽运算和结构优化 | 第28-30页 |
| ·自洽运算 | 第28-29页 |
| ·结构优化 | 第29-30页 |
| ·相关的物理量介绍 | 第30-31页 |
| ·能带 | 第30页 |
| ·态密度 | 第30-31页 |
| ·Mulliken 布局 | 第31页 |
| ·Material Studio 4.0 计算软件的特点 | 第31-34页 |
| ·DMol~软件包的功能特点 | 第31-32页 |
| ·CASTEP 软件包的功能特点 | 第32-34页 |
| 第三章 BTO 原胞的形成机理 | 第34-43页 |
| ·引言 | 第34-35页 |
| ·计算方法 | 第35-36页 |
| ·计算模型与结果讨论 | 第36-39页 |
| ·Ba，O 粒子的反应 | 第36-38页 |
| ·Ti，O 反应的计算 | 第38-39页 |
| ·Ba，Ti，O 共存气氛中的反应 | 第39-42页 |
| ·BTO 分子的几何构型 | 第39-40页 |
| ·BTO 分子的形成机理 | 第40-42页 |
| ·结论 | 第42-43页 |
| 第四章 BaO 分子在 Si(001)表面吸附的动力学模拟 | 第43-49页 |
| ·概述 | 第43页 |
| ·物理模型与计算方法 | 第43-44页 |
| ·计算的物理模型 | 第43-44页 |
| ·计算方法及参数设置 | 第44页 |
| ·计算结果与讨论 | 第44-48页 |
| ·吸附过程 | 第44-46页 |
| ·结果分析 | 第46-48页 |
| ·结论 | 第48-49页 |
| 第五章 TiO_2分子在Si(001)表面吸附的动力学模拟 | 第49-55页 |
| ·概述 | 第49页 |
| ·物理模型与计算方法 | 第49-50页 |
| ·计算的物理模型 | 第49页 |
| ·计算方法与参数设置 | 第49-50页 |
| ·计算结果与讨论 | 第50-53页 |
| ·吸附过程 | 第50-51页 |
| ·结果分析 | 第51-53页 |
| ·结论 | 第53-55页 |
| 第六章 BaO/Si(001)和TiO_2/Si(001)吸附动力学的对比研究 | 第55-60页 |
| ·概述 | 第55页 |
| ·BaO/Si(001)和TiO_2/Si(001)吸附模型结构的对比分析 | 第55-56页 |
| ·BaO/Si(001)和TiO_2/Si(001)吸附动力学过程的对比分析 | 第56-59页 |
| ·结论 | 第59-60页 |
| 第七章 总结 | 第60-62页 |
| ·主要结论 | 第60页 |
| ·未来的工作 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 附录 | 第70页 |
