阵列波导光栅的设计制作及其应用研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 集成光子学的发展 | 第10-11页 |
| 1.3 波分复用 | 第11-16页 |
| 1.4 本文主要完成的工作 | 第16-18页 |
| 2 阵列波导光栅的基本理论 | 第18-30页 |
| 2.1 光波导基本理论 | 第18-21页 |
| 2.2 数值仿真方法 | 第21-22页 |
| 2.3 阵列波导光栅的基本理论 | 第22-27页 |
| 2.4 阵列波导光栅的性能指标 | 第27-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 硅基阵列波导光栅的设计 | 第30-53页 |
| 3.1 阵列波导光栅的理论模型 | 第30-35页 |
| 3.2 阵列波导光栅的设计 | 第35-39页 |
| 3.3 常规型阵列波导光栅的传输特性 | 第39-42页 |
| 3.4 基于多模干涉反射器的反射型阵列波导光栅 | 第42-50页 |
| 3.5 基于环形波导的反射型阵列波导光栅 | 第50-51页 |
| 3.6 本章小结 | 第51-53页 |
| 4 InP基阵列波导光栅 | 第53-68页 |
| 4.1 InP基光波导 | 第53-56页 |
| 4.2 直波导与弯曲波导的连接 | 第56-57页 |
| 4.3 InP基阵列波导光栅的参数设计 | 第57-58页 |
| 4.4 阵列波导光栅的光谱响应平坦化的设计 | 第58-61页 |
| 4.5 阵列波导光栅的版图设计 | 第61-67页 |
| 4.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 5 工艺制作与测试 | 第68-81页 |
| 5.1 硅基无源光器件的制作工艺 | 第68-70页 |
| 5.2 硅基阵列波导光栅的工艺制作与测试 | 第70-76页 |
| 5.3 InP基无源光器件的制作工艺 | 第76-78页 |
| 5.4 InP基阵列波导光栅的工艺制作与测试 | 第78-80页 |
| 5.5 本章小结 | 第80-81页 |
| 6 总结与展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-91页 |
| 附录1攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第91页 |
