| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-30页 |
| 1.1 MEMS 微电机研究现状 | 第11-19页 |
| 1.1.1 静电驱动型微电机 | 第13-18页 |
| 1.1.2 电磁驱动型微电机 | 第18-19页 |
| 1.1.3 压电驱动型微电机 | 第19页 |
| 1.2 微电机的应用及其研究趋势 | 第19-21页 |
| 1.3 微电机信号检测与控制 | 第21-28页 |
| 1.3.1 微弱（电容）信号检测方法 | 第21-24页 |
| 1.3.2 电机控制方法 | 第24-28页 |
| 1.4 本论文的研究意义及主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第二章 悬浮转子轴向驱动静电微电机的数学模型及仿真 | 第30-45页 |
| 2.1 悬浮转子轴向驱动静电微电机 | 第30-34页 |
| 2.1.1 悬浮转子轴向驱动静电微电机器件概述 | 第30-31页 |
| 2.1.2 悬浮转子轴向驱动静电微电机工作原理 | 第31-34页 |
| 2.2 悬浮转子轴向驱动静电微电机动力学模型 | 第34-40页 |
| 2.2.1 系统动力学方程的建立 | 第34页 |
| 2.2.2 转动惯量与阻尼分析 | 第34-37页 |
| 2.2.3 电容及静电力矩的分析 | 第37-40页 |
| 2.3 系统动力学模型的仿真 | 第40-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 悬浮转子轴向驱动静电微电机控制电路设计 | 第45-67页 |
| 3.1 测控系统总体设计 | 第45-47页 |
| 3.2 信号检测电路设计 | 第47-64页 |
| 3.2.1 载波与参考信号发生 | 第47页 |
| 3.2.2 前置电荷积分放大电路设计 | 第47-52页 |
| 3.2.3 相敏解调电路设计 | 第52-57页 |
| 3.2.4 滤波电路设计 | 第57-62页 |
| 3.2.5 后置级比较放大电路设计 | 第62-64页 |
| 3.3 驱动控制电路设计 | 第64-66页 |
| 3.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第四章 悬浮转子静电驱动旋转 DSP 控制器设计 | 第67-90页 |
| 4.1 TMS320F2812 DSP 简介 | 第67-70页 |
| 4.2 DSP 控制器设计及应用 | 第70-89页 |
| 4.2.1 频率合成载波——SPI 与DDS 通讯 | 第70-80页 |
| 4.2.2 开关控制逻辑——CAP 捕获及I/O 输出 | 第80-88页 |
| 4.2.3 可控直流电源——D/A 通道输出 | 第88-89页 |
| 4.3 本章小结 | 第89-90页 |
| 第五章 系统调试及运转试验 | 第90-97页 |
| 5.1 测控系统的调试工具 | 第90-94页 |
| 5.1.1 SEED-DEC2812 开发板及开发系统 | 第90-91页 |
| 5.1.2 开关控制电路板 | 第91-92页 |
| 5.1.3 Code Composer Studio 集成开发环境 | 第92-94页 |
| 5.2 系统调试与运转试验 | 第94-96页 |
| 5.3 本章小结 | 第96-97页 |
| 第六章 总结与展望 | 第97-99页 |
| 6.1 全文总结 | 第97页 |
| 6.2 今后工作展望 | 第97-99页 |
| 附录 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及专利 | 第106页 |
