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锰钴镍氧化物薄膜材料与器件性能研究

致谢第5-7页
摘要第7-10页
ABSTRACT第10-13页
第一章 绪论第17-29页
    1.1 MCNO复合材料简介第17-18页
    1.2 MCNO薄膜材料的制备方法第18-20页
        1.2.1 丝网印刷法第18页
        1.2.2 激光分子束外延生长法第18-19页
        1.2.3 化学溶液沉积法第19页
        1.2.4 射频磁控溅射法第19-20页
    1.3 MCNO薄膜材料及器件的研究进展第20-24页
        1.3.1 MCNO薄膜材料的电学性能研究进展第20-22页
        1.3.2 MCNO薄膜材料光学性质研究进展第22-23页
        1.3.3 MCNO器件性能的研究进展第23-24页
    1.4 本论文研究的内容和意义第24-26页
    参考文献第26-29页
第二章 MCNO薄膜材料的制备与研究方法第29-40页
    2.1 MCNO薄膜材料的制备方法第29-31页
        2.1.1 化学溶液法制备第29-31页
        2.1.2 磁控溅射制备方法第31页
    2.2 MCNO薄膜材料的表征方法第31-33页
        2.2.1 原子力显微镜AFM第31-32页
        2.2.2 扫描电子显微镜SEM第32页
        2.2.3 X射线衍射方法(XRD)第32-33页
    2.3 MCNO薄膜材料的性能测试方法第33-39页
        2.3.1 变温电学性能测试第33-35页
        2.3.2 光学性能测试第35-37页
        2.3.3 紫外光电子能谱(UPS)第37页
        2.3.4 X射线光电子能谱分析(XPS)第37-39页
    参考文献第39-40页
第三章 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜的结构特性分析第40-50页
    3.1 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜材料的制备与组织结构分析第40-42页
    3.2 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜材料的表面粗糙度分析第42-44页
    3.3 退火对Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜材料离子价态的影响第44-45页
    3.4 MCNO材料的混合熵第45-47页
    3.5 本章小结第47-49页
    参考文献第49-50页
第四章 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜的电学和椭偏光学性能研究第50-68页
    4.1 电学测试实验样品的制备第50-52页
    4.2 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜的电学性能研究第52-57页
        4.2.1 变温电阻特性研究第52-54页
        4.2.2 导电类型分析第54-56页
        4.2.3 载流子浓度变化的计算第56-57页
    4.3 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜的椭偏光学性能研究第57-65页
        4.3.1 光学色散模型第57-59页
        4.3.2 光学常数的拟合第59-62页
        4.3.3 载流子输运模型分析第62-65页
        4.3.4 载流子输运特性研究第65页
    4.4 本章小结第65-67页
    参考文献第67-68页
第五章 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜器件的研究第68-81页
    5.1 热敏器件噪声特性分析第68-70页
    5.2 热敏器件的光电响应分析第70-73页
    5.3 MCNO薄膜器件探测性能表征系统第73-74页
    5.4 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜器件的制备第74-75页
    5.5 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜器件噪声研究第75-77页
    5.6 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜器件性能研究第77-79页
    5.7 本章小结第79-80页
    参考文献第80-81页
第六章 变组分MCNO薄膜材料的研究第81-97页
    6.1 变组分MCNO薄膜材料制备与表征第81-84页
    6.2 变组分MCNO薄膜材料电学性质研究第84-88页
    6.3 变组分MCNO薄膜材料光学性能研究第88-94页
        6.3.1 透-反射光谱研究第88-92页
        6.3.2 椭偏光学性质研究第92-94页
    6.4 本章小结第94-96页
    参考文献第96-97页
第七章 衬底热导对MCNO薄膜器件性能的影响第97-112页
    7.1 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜器件热导随Al_2O_3衬底厚度及面积的变化第97-103页
        7.1.1 Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜材料制备与器件的制作第97-99页
        7.1.2. 不同衬底厚度的热导第99-101页
        7.1.3 不同衬底面积的热导第101-103页
    7.2 微桥器件的研究第103-108页
        7.2.1 微桥结构MCNO薄膜器件的制作第104-105页
        7.2.2 微桥结构MCNO薄膜器件的性能研究第105-108页
    7.3 散热铜片对MCNO薄膜器件性能的影响第108-109页
    7.4 本章小结第109-111页
    参考文献第111-112页
第八章 采用CSD法制备的MCNO薄膜的相关研究第112-136页
    8.1 掺杂元素对MCNO薄膜材料的影响第112-126页
        8.1.1 掺杂元素种类对MCNO薄膜材料的影响第113-116页
        8.1.2 掺Cu和CuSc元素MCNO薄膜材料的研究第116-126页
    8.2 MCNO薄膜与有机物的界面电学特性研究第126-132页
        8.2.1 样品的制备第127页
        8.2.2 MCNO薄膜的能带结构分析第127-130页
        8.2.3 MCNO薄膜上有机物的能带结构分析第130-132页
    8.3 本章小结第132-134页
    参考文献第134-136页
第九章 总结与展望第136-139页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第139-140页

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