首页--工业技术论文--一般工业技术论文--工程材料学论文--特种结构材料论文

氧化钒功能薄膜集成生长与器件基础研究

摘要第5-7页
abstract第7-9页
第一章 绪论第12-29页
    1.1 研究工作的背景第12-14页
    1.2 氧化钒材料的国内外研究历史与现状第14-27页
        1.2.1 国外研究进展第14-22页
        1.2.2 国内研究进展第22-27页
    1.3 本文的主要工作第27页
    1.4 本论文的结构安排第27-29页
第二章 氧化钒薄膜制备与表征技术第29-46页
    2.1 高分子辅助沉积法第30-33页
    2.2 热力学原理第33-34页
    2.3 脉冲激光沉积法第34-36页
    2.4 薄膜微结构表征技术第36-42页
        2.4.1 原子力显微镜第36-37页
        2.4.2 X射线衍射第37-40页
        2.4.3 透射电子显微镜第40-41页
        2.4.4 拉曼光谱第41-42页
        2.4.5 红外光谱第42页
    2.5 薄膜物理性质表征技术第42-46页
        2.5.1 范德堡法测试薄膜电阻率第42-44页
        2.5.2 薄膜磁性测量技术第44-46页
第三章 高分子辅助沉积法制备氧化钒薄膜及其结构相变研究第46-68页
    3.1 高分子辅助沉积法制备氧化钒薄膜工艺研究第46-53页
        3.1.1 高分子前驱体溶液的配制第46-47页
        3.1.2 气氛调控氧化钒元素价态第47-50页
        3.1.3 温度调控制备纯相二氧化钒薄膜第50-51页
        3.1.4 二氧化钒薄膜在蓝宝石(0001)面的外延行为第51-53页
    3.2 高分子辅助沉积法制备氧化钒薄膜的金属-绝缘转变特性第53-56页
        3.2.1 电阻-温度曲线第53-55页
        3.2.2 红外开关第55-56页
    3.3 二氧化钒薄膜的结构相变过程第56-67页
    3.4 本章小结第67-68页
第四章 脉冲激光沉积法制备二氧化钒薄膜及其性质研究第68-100页
    4.1 脉冲激光沉积法制备二氧化钒薄膜工艺研究第69-77页
        4.1.1 生长气氛优化过程第70-71页
        4.1.2 生长温度优化过程第71-75页
        4.1.3 生长厚度对薄膜性质的影响第75-77页
    4.2 脉冲激光沉积法制备二氧化钒薄膜微结构表征第77-82页
        4.2.1 透射电子显微镜第77页
        4.2.2 X射线衍射第77-82页
    4.3 脉冲激光沉积法在蓝宝石(11-20)面上制备二氧化钒薄膜第82-99页
        4.3.1 微结构表征第83-87页
        4.3.2 金属-绝缘转变的各向异性第87-89页
        4.3.3 结构演化表征第89-93页
        4.3.4 应变弛豫过程分析第93-99页
    4.4 本章小结第99-100页
第五章 二氧化钒与磁性薄膜集成生长与器件性能初探第100-111页
    5.1 异质结构制备工艺优化第100-103页
    5.2 原型磁热器件耦合效应研究第103-109页
        5.2.1 磁场对金属-绝缘转变的作用第103-106页
        5.2.2 结构转变对磁性质的作用第106页
        5.2.3 器件耦合机制分析第106-109页
    5.3 本章小结第109-111页
第六章 结论第111-113页
致谢第113-114页
参考文献第114-126页
攻读博士学位期间取得的成果第126-127页

论文共127页,点击 下载论文
上一篇:小型新闻发布系统的设计与实现
下一篇:智能社会化书签系统的研究与实现