中文摘要 | 第4-7页 |
ABSTRACT | 第7-9页 |
第一章 绪论 | 第13-28页 |
1.1 引言 | 第13页 |
1.2 金刚石的晶体结构 | 第13-14页 |
1.3 金刚石的主要性质及其应用 | 第14-19页 |
1.4 CVD 金刚石的制备及生长机理 | 第19-20页 |
1.5 CVD 金刚石膜的主要制备方法 | 第20-23页 |
1.6 论文的选题及主要研究内容 | 第23-24页 |
参考文献 | 第24-28页 |
第二章 实验设备与测试仪器 | 第28-35页 |
2.1 CVD 金刚石膜生长用 MPCVD 系统 | 第28-29页 |
2.2 高温管式电阻炉 | 第29-30页 |
2.3 样品表征、性质测量及原理 | 第30-34页 |
参考文献 | 第34-35页 |
第三章 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜的制备、氧化处理及浸润性研究 | 第35-51页 |
3.1 引言 | 第35页 |
3.2 制备(100)织构 CVD 金刚石膜的实验过程 | 第35-38页 |
3.2.1 (100)织构 CVD 金刚石膜的制备 | 第35-36页 |
3.2.2 (100)织构 CVD 金刚石膜高温氧化处理 | 第36-37页 |
3.2.3 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜氢化处理 | 第37-38页 |
3.2.4 样品表征方法 | 第38页 |
3.3 实验结果与分析 | 第38-47页 |
3.3.1 自支撑 CVD 金刚石膜 TGA 分析 | 第38-39页 |
3.3.2 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜表征 | 第39-41页 |
3.3.3 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜高温氧化处理结果 | 第41-46页 |
3.3.4 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜浸润性研究 | 第46-47页 |
3.4 本章小结 | 第47-49页 |
参考文献 | 第49-51页 |
第四章 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜的制备、氧化处理及浸润性研究 | 第51-64页 |
4.1 引言 | 第51页 |
4.2 CVD 金刚石膜生长、表征和性质研究实验部分 | 第51-54页 |
4.2.1 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜的制备 | 第51-52页 |
4.2.2 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜高温氧化处理 | 第52-54页 |
4.3 样品表征方法 | 第54页 |
4.4 实验结果与分析 | 第54-63页 |
4.4.1 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜 TGA 分析 | 第54-55页 |
4.4.2 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜表征 | 第55-58页 |
4.4.3 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜氧化处理结果 | 第58-61页 |
4.4.4 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜浸润性 | 第61-63页 |
参考文献 | 第63-64页 |
第五章 结论与展望 | 第64-66页 |
作者简介及攻读博士期间发表的学术论文 | 第66-67页 |
致谢 | 第67页 |