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CVD金刚石膜的高温氧化及其浸润性质研究

中文摘要第4-7页
ABSTRACT第7-9页
第一章 绪论第13-28页
    1.1 引言第13页
    1.2 金刚石的晶体结构第13-14页
    1.3 金刚石的主要性质及其应用第14-19页
    1.4 CVD 金刚石的制备及生长机理第19-20页
    1.5 CVD 金刚石膜的主要制备方法第20-23页
    1.6 论文的选题及主要研究内容第23-24页
    参考文献第24-28页
第二章 实验设备与测试仪器第28-35页
    2.1 CVD 金刚石膜生长用 MPCVD 系统第28-29页
    2.2 高温管式电阻炉第29-30页
    2.3 样品表征、性质测量及原理第30-34页
    参考文献第34-35页
第三章 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜的制备、氧化处理及浸润性研究第35-51页
    3.1 引言第35页
    3.2 制备(100)织构 CVD 金刚石膜的实验过程第35-38页
        3.2.1 (100)织构 CVD 金刚石膜的制备第35-36页
        3.2.2 (100)织构 CVD 金刚石膜高温氧化处理第36-37页
        3.2.3 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜氢化处理第37-38页
        3.2.4 样品表征方法第38页
    3.3 实验结果与分析第38-47页
        3.3.1 自支撑 CVD 金刚石膜 TGA 分析第38-39页
        3.3.2 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜表征第39-41页
        3.3.3 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜高温氧化处理结果第41-46页
        3.3.4 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜浸润性研究第46-47页
    3.4 本章小结第47-49页
    参考文献第49-51页
第四章 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜的制备、氧化处理及浸润性研究第51-64页
    4.1 引言第51页
    4.2 CVD 金刚石膜生长、表征和性质研究实验部分第51-54页
        4.2.1 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜的制备第51-52页
        4.2.2 (100)织构自支撑 CVD 金刚石膜高温氧化处理第52-54页
    4.3 样品表征方法第54页
    4.4 实验结果与分析第54-63页
        4.4.1 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜 TGA 分析第54-55页
        4.4.2 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜表征第55-58页
        4.4.3 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜氧化处理结果第58-61页
        4.4.4 非(100)织构自支撑 CVD 金刚石膜浸润性第61-63页
    参考文献第63-64页
第五章 结论与展望第64-66页
作者简介及攻读博士期间发表的学术论文第66-67页
致谢第67页

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