| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 硬质涂层 | 第12-16页 |
| 1.1.1 二元硬质涂层 | 第12-13页 |
| 1.1.2 多元合金化硬质涂层 | 第13-14页 |
| 1.1.3 硬质涂层的应用及发展历程 | 第14-16页 |
| 1.2 纳米多层涂层 | 第16-18页 |
| 1.3 纳米复合涂层 | 第18-24页 |
| 1.3.1 纳米复合涂层介绍 | 第18-19页 |
| 1.3.2 纳米复合涂层的调幅分解热力学基础 | 第19-21页 |
| 1.3.3 纳米复合涂层的硬度 | 第21-22页 |
| 1.3.4 纳米复合涂层的抗氧化性 | 第22页 |
| 1.3.5 V-Al-C-N纳米复合涂层 | 第22-24页 |
| 1.4 硬质涂层制备方法 | 第24-26页 |
| 1.4.1 化学气相沉积 | 第24-25页 |
| 1.4.2 物理气相沉积 | 第25-26页 |
| 1.5 本文研究内容和目的 | 第26-28页 |
| 2 涂层制备与表征工艺 | 第28-34页 |
| 2.1 涂层沉积设备 | 第28-29页 |
| 2.2 涂层沉积工艺 | 第29页 |
| 2.3 涂层的表征 | 第29-34页 |
| 2.3.1 结构及成分表征 | 第29-30页 |
| 2.3.2 性能表征 | 第30-34页 |
| 3 V-Al-C-N涂层制备及其结构和机械性能研究 | 第34-44页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 实验部分 | 第34-35页 |
| 3.3 涂层成分、结构和微观形貌表征 | 第35-43页 |
| 3.3.1 涂层成分和化学键态分析 | 第35-36页 |
| 3.3.2 涂层的相结构分析 | 第36-37页 |
| 3.3.3 涂层拉曼分析 | 第37-38页 |
| 3.3.4 涂层微观形貌和微观结构分析 | 第38-40页 |
| 3.3.5 涂层力学性能分析 | 第40-42页 |
| 3.3.6 涂层结合力分析 | 第42-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 4 N掺杂对V-Al-C涂层在不同介质中摩擦学性能的影响 | 第44-50页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 实验方法 | 第44-45页 |
| 4.3 涂层摩擦磨损性能分析 | 第45-49页 |
| 4.3.1 涂层摩擦学性能 | 第45-46页 |
| 4.3.2 涂层磨损性能分析 | 第46-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 CH_4流量对V-Al-C涂层结构和性能的影响 | 第50-62页 |
| 5.1 引言 | 第50页 |
| 5.2 实验部分 | 第50-51页 |
| 5.3 CH_4流量对V-Al-C涂层成分、微观结构和性能的影响 | 第51-61页 |
| 5.3.1 涂层成分和相结构分析 | 第51-52页 |
| 5.3.2 涂层化学键态分析 | 第52-53页 |
| 5.3.3 涂层拉曼分析 | 第53-54页 |
| 5.3.4 涂层微观形貌和微观结构分析 | 第54-57页 |
| 5.3.5 涂层的机械性能 | 第57-59页 |
| 5.3.6 涂层的摩擦学性能分析 | 第59-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 6 结论与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 结论 | 第62-63页 |
| 6.2 展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-73页 |
| 硕士期间研究成果 | 第73页 |
| 参加的学术会议 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
