| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1. 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 论文研究背景与意义 | 第8页 |
| 1.2 纳米级高精度测量方法研究现状 | 第8-13页 |
| 1.2.1 显微镜测量方法 | 第9页 |
| 1.2.2 电学测量方法 | 第9-10页 |
| 1.2.3 光学测量方法 | 第10-13页 |
| 1.3 椭偏法研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.1 椭偏法的发展过程 | 第13-14页 |
| 1.3.2 椭偏法国内外研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2. 椭圆偏振法测量原理 | 第17-23页 |
| 2.1 椭圆偏振法测量原理概述 | 第17页 |
| 2.2 反射椭偏法 | 第17-22页 |
| 2.2.1 光度法测量原理 | 第18-20页 |
| 2.2.2 消光法测量原理 | 第20-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 3. 基于MATLAB平台的算法编写及仿真数据分析 | 第23-39页 |
| 3.1 待测样品对入射光线椭圆偏振态的改变情况 | 第23-26页 |
| 3.2 光度法测量的算法编写及仿真结果分析 | 第26-27页 |
| 3.3 消光法(旋转起偏器,检偏器)的算法编写及仿真结果分析 | 第27-34页 |
| 3.3.1 消光法(旋转起偏器,检偏器)算法编写 | 第27-31页 |
| 3.3.2 入射角大小的仿真数据分析 | 第31-32页 |
| 3.3.3 起偏器和检偏器测角误差对测量结果的影响 | 第32-34页 |
| 3.4 消光法(旋转1/4波片,检偏器)的算法编写 | 第34-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 4. 消光法实验验证 | 第39-50页 |
| 4.1 实验仪器的选取 | 第39-46页 |
| 4.1.1 光源的选择 | 第40页 |
| 4.1.2 偏振片的选择 | 第40-43页 |
| 4.1.3 1/4波片的选择 | 第43页 |
| 4.1.4 光电探测器的选择 | 第43-44页 |
| 4.1.5 步进电机 | 第44-45页 |
| 4.1.6 压电陶瓷位移器 | 第45-46页 |
| 4.1.7 被测样品 | 第46页 |
| 4.2 实验系统的安装及测量过程 | 第46-48页 |
| 4.2.1 实验系统的安装过程 | 第46-47页 |
| 4.2.2 实验测量过程 | 第47-48页 |
| 4.3 实验数据处理 | 第48-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 5. 结论与展望 | 第50-52页 |
| 5.1 本文的主要工作 | 第50页 |
| 5.2 对今后工作的建议 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
