多晶硅铸锭炉内耐高温部件涂层制备研究
摘要 | 第3-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
第一章 绪论 | 第9-24页 |
1.1 太阳能级铸造多晶硅锭的制备工艺 | 第10-12页 |
1.2 铸造多晶硅中的碳杂质及其来源 | 第12-16页 |
1.2.1 晶体硅中碳的存在形式及其危害 | 第12-15页 |
1.2.2 铸造多晶硅中的碳杂质来源 | 第15-16页 |
1.3 碳材料构件SiC涂层制备 | 第16-22页 |
1.3.1 碳化硅性质 | 第17-18页 |
1.3.2 碳构件SiC涂层体系 | 第18-19页 |
1.3.3 国内外研究现状 | 第19-22页 |
1.4 本论文的研究目的和主要研究内容 | 第22-24页 |
第二章 液相浸渍法制备碳化硅涂层 | 第24-38页 |
2.1 引言 | 第24页 |
2.2 实验方法 | 第24-26页 |
2.2.1 实验材料与设备 | 第24页 |
2.2.2 实验方法与工艺参数 | 第24-26页 |
2.3 结果与讨论 | 第26-37页 |
2.3.1 涂层的物相分析与组织形貌 | 第26-29页 |
2.3.2 反应温度与保温时间对涂层形成的影响 | 第29-33页 |
2.3.3 碳化硅涂层形成的热力学与动力学研究 | 第33-34页 |
2.3.4 碳化硅涂层抗热冲击性能检测 | 第34-37页 |
2.4 本章小结 | 第37-38页 |
第三章 喷涂法制备碳化硅涂层 | 第38-53页 |
3.1 引言 | 第38页 |
3.2 实验方法 | 第38-41页 |
3.2.1 实验原料 | 第38-39页 |
3.2.2 实验设备 | 第39-40页 |
3.2.3 实验方法与工艺参数 | 第40-41页 |
3.3 结果与讨论 | 第41-52页 |
3.3.1 浆料配比研究 | 第41-42页 |
3.3.2 喷涂工艺研究 | 第42-43页 |
3.3.3 石墨基SiC涂层形成机制研究 | 第43-48页 |
3.3.4 喷涂厚度对SiC涂层质量影响 | 第48-52页 |
3.4 本章小结 | 第52-53页 |
第四章 C/C复合材料SiC涂层研究 | 第53-61页 |
4.1 引言 | 第53页 |
4.2 实验方法 | 第53-54页 |
4.2.1 实验材料与设备 | 第53页 |
4.2.2 实验方法与工艺参数 | 第53-54页 |
4.3 结果与讨论 | 第54-60页 |
4.3.1 C/C涂层微观结构 | 第54-57页 |
4.3.2 C/C涂层生长过程分析 | 第57-59页 |
4.3.3 C/C涂层性能分析 | 第59-60页 |
4.4 本章小结 | 第60-61页 |
第五章 总结 | 第61-62页 |
5.1 主要的研究结论及成果 | 第61页 |
5.2 本文的主要创新之处 | 第61-62页 |
致谢 | 第62-63页 |
参考文献 | 第63-68页 |
攻读学位期间的研究成果 | 第68页 |