| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.3 硅微谐振式加速度计国内外研究动态 | 第10-15页 |
| 1.3.1 国外研究动态 | 第10-13页 |
| 1.3.2 国内研究动态 | 第13-15页 |
| 1.4 硅微谐振式加速度计测控电路研究进展 | 第15-18页 |
| 1.4.1 国外研究动态 | 第15-16页 |
| 1.4.2 国内研究动态 | 第16-18页 |
| 1.5 课题来源 | 第18页 |
| 1.6 本课题研究的主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 硅微谐振式加速度计的基本理论分析 | 第20-31页 |
| 2.1 硅微谐振式加速度计结构原理 | 第20页 |
| 2.2 动力学模型分析 | 第20-21页 |
| 2.3 静电驱动原理 | 第21-24页 |
| 2.3.1 平板电容静电力产生原理 | 第21-22页 |
| 2.3.2 静电驱动 | 第22-24页 |
| 2.4 闭环控制电路 | 第24-30页 |
| 2.4.1 锁相环相位控制原理 | 第24-27页 |
| 2.4.2 环路起振原理 | 第27-29页 |
| 2.4.3 驱动回路自动增益控制 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 硅微谐振式加速度计接口检测电路技术研究 | 第31-41页 |
| 3.1 接口电路的信号检测方式 | 第31-34页 |
| 3.1.1 信号单边检测方式 | 第31-32页 |
| 3.1.2 信号双边检测方式 | 第32-33页 |
| 3.1.3 耦合电容对信号检测的影响 | 第33-34页 |
| 3.2 信号检测电路分析 | 第34-37页 |
| 3.2.1 模拟开关电容检测电路 | 第34-35页 |
| 3.2.2 环形二极管检测电路 | 第35-36页 |
| 3.2.3 寄生电容对环形二极管检测电路的影响 | 第36-37页 |
| 3.3 接口检测电路的优化 | 第37-40页 |
| 3.3.1 环形二极管电路的优化 | 第37-38页 |
| 3.3.2 仪表放大电路的优化 | 第38-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 硅微谐振式加速度计测控电路二次电源技术研究 | 第41-55页 |
| 4.1 稳压电源原理 | 第41-43页 |
| 4.1.1 开关稳压电源 | 第41-42页 |
| 4.1.2 线性稳压电源 | 第42-43页 |
| 4.2 二次电源模块的线性稳压电源设计 | 第43-50页 |
| 4.2.1 正5V电源电路设计 | 第44-47页 |
| 4.2.2 负5V电源电路设计 | 第47-50页 |
| 4.3 二次电源模块滤波电路的设计 | 第50-53页 |
| 4.3.1 前置滤波电路设计 | 第50-52页 |
| 4.3.2 后置滤波电路设计 | 第52-53页 |
| 4.4 二次电源测试结果 | 第53-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 硅微谐振式加速度计测控电路噪声研究 | 第55-67页 |
| 5.1 机械热噪声分析 | 第55页 |
| 5.2 电噪声 | 第55-58页 |
| 5.2.1 热噪声分析 | 第56页 |
| 5.2.2 散粒噪声分析 | 第56-57页 |
| 5.2.3 闪烁噪声分析 | 第57页 |
| 5.2.4 基本噪声模型 | 第57-58页 |
| 5.3 接口电路噪声分析 | 第58-60页 |
| 5.4 锁相环回路噪声研究 | 第60-66页 |
| 5.4.1 相位噪声 | 第60-61页 |
| 5.4.2 锁相环噪声传输模型 | 第61-66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 硅微谐振式加速度计系统性能测试与分析 | 第67-77页 |
| 6.1 测试电路与测试环境 | 第67-68页 |
| 6.1.1 测试电路 | 第67页 |
| 6.1.2 测试设备 | 第67-68页 |
| 6.1.3 测试环境条件 | 第68页 |
| 6.2 硅微谐振式加速度计原理样机系统性能测试 | 第68-76页 |
| 6.2.1 标度因数测试 | 第68-72页 |
| 6.2.2 偏值测试 | 第72-74页 |
| 6.2.3 温度性能试验 | 第74-76页 |
| 6.3 本章小结 | 第76-77页 |
| 第七章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 7.1 全文总结 | 第77-78页 |
| 7.2 未来工作展望 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 作者简介 | 第83页 |