| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.1.1 白光干涉测量技术的意义 | 第11页 |
| 1.1.2 光程延迟线的优势 | 第11-12页 |
| 1.1.3 大量程高精度光程扫描延迟线在白光干涉中的作用 | 第12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.1 国内外光程延迟线的种类 | 第12-16页 |
| 1.2.2 大量程高精度光程延迟线现状 | 第16-18页 |
| 1.3 研究要解决的问题 | 第18页 |
| 1.3.1 如何在保持延迟精度的前提下,实现大范围光程扩展 | 第18页 |
| 1.3.2 如何改进调节方法,降低插入损耗和损耗波动 | 第18页 |
| 1.3.3 如何在保持调节性能的基础上,提高延迟线的稳定性 | 第18页 |
| 1.4 本论文拟达到目标 | 第18-20页 |
| 第2章 光程扫描延迟线的参数选择及结构设计 | 第20-35页 |
| 2.1 大量程高精度光程扫描延迟线结构选择 | 第20-23页 |
| 2.1.1 光程扫描延迟线在白光干涉中的工作原理 | 第20页 |
| 2.1.2 大量程高精度光程扫描延迟线性能描述 | 第20-22页 |
| 2.1.3 大量程高精度光程扫描延迟线不同结构 | 第22-23页 |
| 2.2 光程扫描延迟线组件分析 | 第23-33页 |
| 2.2.1 准直镜光束特性及参数选择 | 第23-26页 |
| 2.2.2 准直镜非理想对准影响 | 第26-30页 |
| 2.2.3 反射镜、机械扫描台的影响 | 第30-33页 |
| 2.3 机械调节结构设计 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 光程延迟线调节方法及稳定性研究 | 第35-50页 |
| 3.1 准直镜调节方法 | 第35-39页 |
| 3.1.1 准直镜光束重心探测 | 第36-37页 |
| 3.1.2 准直镜调节方法 | 第37-38页 |
| 3.1.3 准直镜调节结果 | 第38-39页 |
| 3.2 双45度反射镜调节方法 | 第39-42页 |
| 3.2.1 双45度反射镜调节目标 | 第39-40页 |
| 3.2.2 双45度反射镜调节方法 | 第40-41页 |
| 3.2.3 双45度反射镜调节结果 | 第41-42页 |
| 3.3 基于机械稳定性提升的损耗波动抑制方法 | 第42-49页 |
| 3.3.1 光程延迟线机械要求 | 第43页 |
| 3.3.2 振动稳定性计算 | 第43-44页 |
| 3.3.3 温度稳定性分析及提升 | 第44-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 扫描量程扩展与接续(标定)方法研究 | 第50-62页 |
| 4.1 增加硬件性能扩展 | 第50-52页 |
| 4.1.1 基于90度反射镜的硬件扩展 | 第51-52页 |
| 4.1.2 基于45度反射镜的硬件扩展 | 第52页 |
| 4.2 基于单个延迟线的双通扫描扩展 | 第52-53页 |
| 4.3 延迟线级联进行光程延迟线扩展 | 第53-55页 |
| 4.3.1 直接对延迟线级联实现扩展 | 第53-55页 |
| 4.3.2 延迟线级联与双通复合结构实现扩展 | 第55页 |
| 4.4 采用固定延迟和连续延迟复合的方法进行扫描量程扩展 | 第55-59页 |
| 4.4.1 固定延迟和连续延迟复合扩展的方法 | 第56-57页 |
| 4.4.2 固定延迟和连续延迟复合扩展标定的方法 | 第57-59页 |
| 4.5 结合干涉光路,利用差分结构实现扩展 | 第59-61页 |
| 4.5.1 大量程高精度光程扫描延迟线结合干涉光路扩展 | 第59-60页 |
| 4.5.2 多个大量程高精度光程扫描延迟线级联结合干涉光路扩展 | 第60-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 光程延迟线测试及白光干涉测量应用 | 第62-74页 |
| 5.1 光程延迟线测试 | 第62-68页 |
| 5.1.1 光程延迟线插入损耗测试 | 第62-66页 |
| 5.1.2 光程延迟线的温度稳定性 | 第66-68页 |
| 5.2 白光干涉测量系统中的实验结果 | 第68-73页 |
| 5.2.1 白光干涉系统空光路实验结果 | 第68-70页 |
| 5.2.2 白光干涉测量中典型器件测试 | 第70-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
