白光干涉显微系统及微观形貌移相算法研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.3 表面微观轮廓三维形貌的测试方法 | 第9-12页 |
| 1.3.1 机械探针法 | 第9-10页 |
| 1.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第10页 |
| 1.3.3 扫描隧道显微镜(STM) | 第10-11页 |
| 1.3.4 激光共焦显微镜 | 第11页 |
| 1.3.5 光学显微干涉方法 | 第11-12页 |
| 1.4 国内外白光干涉系统研究现状 | 第12-13页 |
| 1.5. 三维形貌恢复算法 | 第13-19页 |
| 1.5.1 重心法 | 第14页 |
| 1.5.2 相干相关算法 | 第14-15页 |
| 1.5.3 傅里叶变换算法 | 第15-16页 |
| 1.5.4 希尔伯特变换算法 | 第16-17页 |
| 1.5.5 小波变换算法 | 第17页 |
| 1.5.6 空间频域法 | 第17-18页 |
| 1.5.7 相移干涉法 | 第18-19页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 2 白光干涉系统原理及结构设计 | 第20-35页 |
| 2.1 白光干涉原理 | 第20-21页 |
| 2.2 白光干涉测量系统原理 | 第21-22页 |
| 2.3 白光干涉显微系统设计 | 第22-33页 |
| 2.3.1 照明光源的选型 | 第23-24页 |
| 2.3.2 干涉显微物镜的选择 | 第24-26页 |
| 2.3.3 图像采集系统的选型 | 第26-28页 |
| 2.3.4 移相系统的选型 | 第28-31页 |
| 2.3.5 倾斜系统的选型 | 第31-32页 |
| 2.3.6 水平位移台的选型 | 第32-33页 |
| 2.3.7 无限远成像系统 | 第33页 |
| 2.4 系统总体装配 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 3. 图像采集软件程序设计 | 第35-40页 |
| 3.1 系统设计的基本思想 | 第35-36页 |
| 3.2 程序设计与实现 | 第36-39页 |
| 3.2.1 初始化模块 | 第36页 |
| 3.2.2 图像显示模块 | 第36-37页 |
| 3.2.3 移相模块 | 第37-38页 |
| 3.2.4 图像采集模块 | 第38-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 4. 白光相移干涉技术理论与仿真 | 第40-50页 |
| 4.1 相移算法基本原理 | 第40-42页 |
| 4.2 白光相移干涉法测量原理 | 第42-44页 |
| 4.3 数据处理方法 | 第44-46页 |
| 4.3.1 重心法计算方法 | 第44页 |
| 4.3.2 调制度计算方法 | 第44页 |
| 4.3.3 噪声的去除 | 第44-46页 |
| 4.3.4 消倾斜 | 第46页 |
| 4.4 理论仿真 | 第46-49页 |
| 4.4.1 仿真台阶面并研究步长影响 | 第46-48页 |
| 4.4.2 移相误差对计算精度的影响 | 第48-49页 |
| 4.4.3 不同台阶高度对计算精度的影响 | 第49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 三维形貌测量实验 | 第50-59页 |
| 5.1 对110nm台阶版的测量 | 第50-54页 |
| 5.2 对CGH的测量 | 第54-56页 |
| 5.3 采样间隔对测试结果的影响 | 第56-57页 |
| 5.4 重复精度 | 第57-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 6 总结和展望 | 第59-61页 |
| 6.1 全文总结 | 第59页 |
| 6.2 展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录 | 第66页 |
