| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 钛合金结构和性能 | 第10页 |
| 1.2 真空镀膜技术 | 第10-13页 |
| 1.2.1 化学气相沉积 | 第10-11页 |
| 1.2.2 物理气相沉积 | 第11-13页 |
| 1.3 金属陶瓷涂层 | 第13-17页 |
| 1.3.1 TiSiN涂层 | 第14-15页 |
| 1.3.2 Ti_3SiC_2 MAX相涂层 | 第15-16页 |
| 1.3.3 TiSiCN涂层 | 第16-17页 |
| 1.4 选题依据及研究内容 | 第17-19页 |
| 1.4.1 选题依据 | 第17-18页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第18-19页 |
| 2 实验与表征方法 | 第19-23页 |
| 2.1 涂层沉积工艺 | 第19-20页 |
| 2.1.1 不同碳含量的TiSiCN涂层的沉积工艺 | 第19-20页 |
| 2.1.2 不同沉积偏压的TiSiCN涂层的沉积工艺 | 第20页 |
| 2.2 涂层结构与物相表征 | 第20-23页 |
| 2.2.1 物相与形貌表征 | 第20-21页 |
| 2.2.2 涂层性能表征 | 第21-23页 |
| 3 碳含量对TiSiCN涂层结构和抗磨蚀性能的影响 | 第23-40页 |
| 3.1 引言 | 第23页 |
| 3.2 结果与讨论 | 第23-39页 |
| 3.2.1 成分与结构 | 第23-26页 |
| 3.2.2 机械性能 | 第26-30页 |
| 3.2.3 磨蚀性能 | 第30-33页 |
| 3.2.4 摩擦学性能 | 第33-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 沉积偏压对TiSiCN涂层结构和抗磨蚀性能的影响 | 第40-56页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第40-55页 |
| 4.2.1 组织和成分 | 第40-46页 |
| 4.2.2 机械性能 | 第46-47页 |
| 4.2.3 磨蚀性能 | 第47-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 结论与展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-66页 |
| 在学研究成果 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
