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基于铌酸锂单晶基片的多频点超声功率换能器的设计与实现

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第12-29页
    1.1 课题研究背景及意义第12-13页
    1.2 超声换能器研究概述第13-24页
        1.2.1 超声换能器分类第13-16页
        1.2.2 超声换能器的发展动态第16-23页
        1.2.3 标准超声换能器的研究现状第23-24页
    1.3 超声功率测量与量值传递研究综述第24-28页
        1.3.1 超声功率的测量原理与方法第24-25页
        1.3.2 超声功率量值传递的意义与方法第25-28页
    1.4 论文研究内容第28页
    1.5 本章小结第28-29页
第二章 多频点超声换能器设计与制作第29-40页
    2.1 引言第29页
    2.2 超声换能器设计介绍第29-34页
        2.2.1 压电材料的选择第29-31页
        2.2.2 压电材料的切割方式第31-32页
        2.2.3 压电材料电极构造设计第32-33页
        2.2.4 换能器外壳第33-34页
    2.3 压电材料镀膜加工—磁控溅射法镀膜第34-38页
        2.3.1 磁控溅射工作原理第34-36页
        2.3.2 实验装置与条件第36-37页
        2.3.3 磁控溅射镀膜工艺的优势第37-38页
    2.4 超声换能器装配技术第38页
    2.5 本章小结第38-40页
第三章 多频点超声换能器电学匹配第40-56页
    3.1 引言第40页
    3.2 超声换能器电学匹配基本原理第40-45页
    3.3 超声换能器匹配电路设计第45-49页
    3.4 超声换能器测量设备与试验数据第49-55页
        3.4.1 超声换能器阻抗测量设备第49-50页
        3.4.2 未匹配前对超声换能器阻抗的测量过程第50-52页
        3.4.3 匹配器的设计第52-55页
    3.5 本章小结第55-56页
第四章 多频点超声换能器功率输出测量第56-62页
    4.1 引言第56页
    4.2 测量原理第56-58页
    4.3 测量力与声功率转换第58页
    4.4 辐射压力法超声功率测量装置第58-61页
        4.4.1 基准装置系统构成概述第58-59页
        4.4.2 消声水槽与反射靶的构造第59-61页
    4.5 本章小结第61-62页
第五章 试验及结果分析第62-69页
    5.1 引言第62页
    5.2 实验条件与操作步骤第62-63页
        5.2.1 制备除气蒸馏水第62页
        5.2.2 安装标准换能器第62页
        5.2.3 给消声水槽注入除气蒸馏水第62-63页
        5.2.4 装吊反射靶第63页
        5.2.5 仪器连接通电预热第63页
        5.2.6 按要求进行测量第63页
        5.2.7 测量完毕第63页
    5.3 换能器辐射声导的确定与线性度表征第63-64页
    5.4 试验数据分析第64-68页
        5.4.1 φ30 多频点超声换能器 2.5934MHz超声功率输出的数据第64-65页
        5.4.2 φ30 多频点超声换能器 8.6569MHz超声功率输出的数据第65-66页
        5.4.3 φ30 多频点超声换能器 14.571MHz超声功率输出的数据第66-68页
    5.5 本章小结第68-69页
结论与进一步研究展望第69-71页
参考文献第71-74页
攻读硕士学位期间撰写的论文第74-75页
致谢第75-76页
Ⅳ-2答辩委员会对论文的评定意见第76页

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