| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 彩色滤光片 | 第9-11页 |
| 1.2 角度不敏感滤光片技术 | 第11-16页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容及创新点 | 第16-18页 |
| 2 基于金属-介质-金属(MDM)的角度不敏感滤光片 | 第18-31页 |
| 2.1 MDM角度不敏感滤光片研究现状 | 第18-23页 |
| 2.2 MDM角度不敏感滤光片实现原理 | 第23-29页 |
| 2.3 不同谐振波长角度不敏感特性实现原理 | 第29-30页 |
| 2.4 小结 | 第30-31页 |
| 3 SiOx和Ag的特性研究 | 第31-48页 |
| 3.1 反应磁控溅射技术 | 第31-33页 |
| 3.2 高折射率Si的制备 | 第33-37页 |
| 3.3 SiOx系列的制备 | 第37-41页 |
| 3.4 SiOx系列的特性分析 | 第41-45页 |
| 3.5 Ag薄膜的制备与特性 | 第45-46页 |
| 3.6 小结 | 第46-48页 |
| 4 角度不敏感颜色滤光片的设计与制备 | 第48-58页 |
| 4.1 透射式滤光片的设计与制备 | 第48-54页 |
| 4.1.1 滤光片仿真设计方案 | 第48-50页 |
| 4.1.2 滤光片实测特性 | 第50-54页 |
| 4.2 反射式滤光片的设计与制备 | 第54-57页 |
| 4.2.1 滤光片仿真设计方案 | 第54-55页 |
| 4.2.2 滤光片实测特性 | 第55-57页 |
| 4.3 小结 | 第57-58页 |
| 5 总结与展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 研究生期间科研成果 | 第65页 |