微纳米三坐标测量机软件开发及其系统测试
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-22页 |
| 1.1 研究的起源及目的 | 第15-16页 |
| 1.2 微纳米三坐标测量机国内外的发展进程 | 第16-19页 |
| 1.3 大量程微纳米位移测量技术实现的介绍 | 第19-20页 |
| 1.4 课题研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 微纳米三坐标测量机硬件结构系统 | 第22-34页 |
| 2.1 共平面XY二维平台 | 第22-24页 |
| 2.1.1 三维阿贝原则 | 第22-23页 |
| 2.1.2 共平面X-Y平台结构系统 | 第23-24页 |
| 2.2 宝塔型配重式Z轴架构 | 第24-26页 |
| 2.3 驱动电机介绍 | 第26-28页 |
| 2.4 多自由度测量系统 | 第28-31页 |
| 2.5 接触扫描式探头 | 第31-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 微纳米级精度的定位控制技术 | 第34-49页 |
| 3.1 信号处理 | 第34-35页 |
| 3.1.1 位移信号的辨向计数和细分处理 | 第34-35页 |
| 3.1.2 相关信号的软件滤波 | 第35页 |
| 3.2 PID控制原理及定位控制实验 | 第35-44页 |
| 3.2.1 开环系统和闭环系统 | 第35-37页 |
| 3.2.2 数字式PID分类 | 第37-39页 |
| 3.2.3 定位控制实验 | 第39-44页 |
| 3.3 控温系统恒温箱 | 第44-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 三坐标测量机软件系统的优化和开发 | 第49-60页 |
| 4.1 探头触发及自动清零程序 | 第49-50页 |
| 4.2 测量实验的路径规划及自动结果输出 | 第50-55页 |
| 4.3 基本几何形状数据处理原理 | 第55-57页 |
| 4.3.1 二维直线拟合及直线度误差 | 第55-56页 |
| 4.3.2 空间平面拟合及阶高厚度 | 第56-57页 |
| 4.4 测球直径的标定程序 | 第57-58页 |
| 4.5 测量机软件组成 | 第58-59页 |
| 4.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 测量实验 | 第60-64页 |
| 5.1 单点触发重复性实验 | 第60页 |
| 5.2 探球直径标定测量实验 | 第60-61页 |
| 5.3 阶高及平面度测量实验 | 第61-62页 |
| 5.4 厚度及平面度测量实验 | 第62-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 研究总结 | 第64页 |
| 6.2 工作展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第68-69页 |
