白光干涉仪微位移平台研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-6页
第一章 绪论	第6-14页
·国内外发展现状	第6-12页
·本文研究的背景和意义	第12-14页
第二章 二自由度微位移精动平台设计	第14-24页
·概述	第14-15页
·柔性铰链的力学模型及位移量	第15-19页
·二维柔性铰链模型及其刚度计算	第19-23页
·本章小结	第23-24页
第三章 微位移平台的有限元分析	第24-33页
·微动平台的导向和放大机构分析	第25-28页
·微动平台的有限元分析	第28-32页
·本章小结	第32-33页
第四章 微位移平台粗动台设计	第33-38页
·设计目标	第33页
·X/Y水平移动台设计	第33-35页
·弧面倾斜调整台	第35-37页
·本章小结	第37-38页
第五章 压电陶瓷驱动特性	第38-45页
·压电陶瓷驱动器优势和应用	第38-39页
·压电陶瓷驱动机理分析	第39-41页
·电致伸缩压电陶瓷驱动特性	第41-43页
·本章小结	第43-45页
第六章 结论与展望	第45-46页
·论文工作总结	第45页
·后续工作展望	第45-46页
致谢	第46-47页
参考文献	第47-49页
附录 硕士期间发表的学术论文	第49页