大尺寸反射镜高精度检测方法研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-30页 |
| ·同步辐射概况 | 第12-16页 |
| ·科学定义及显著特性 | 第12-13页 |
| ·同步辐射光源的发展历程 | 第13-14页 |
| ·上海同步辐射装置(SSRF)简介 | 第14-16页 |
| ·同步辐射光束线工程 | 第16-19页 |
| ·光束线的主要构造及传输原理 | 第16-17页 |
| ·同步辐射光学元件 | 第17-19页 |
| ·大尺寸光学元件面形检测方法的研究现状 | 第19-27页 |
| ·刀口阴影法 | 第19-20页 |
| ·哈特曼-夏克检测法 | 第20-21页 |
| ·顺序扫描法 | 第21-23页 |
| ·干涉法 | 第23-27页 |
| ·子孔径拼接法 | 第24-25页 |
| ·瑞奇-康蒙法 | 第25-26页 |
| ·斜入射法 | 第26-27页 |
| ·本课题的提出与主要研究内容 | 第27-30页 |
| 第2章 基于镜面旋转对称法的干涉绝对检测技术 | 第30-62页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·干涉绝对检测技术的研究进展 | 第30-38页 |
| ·液体平面法 | 第30-31页 |
| ·伪剪切干涉法 | 第31-32页 |
| ·三平板法 | 第32-38页 |
| ·矩形平面的绝对检测方法 | 第38-60页 |
| ·原理 | 第39-42页 |
| ·误差分析 | 第42-45页 |
| ·系统误差 | 第42-44页 |
| ·随机误差 | 第44-45页 |
| ·仿真模拟 | 第45-55页 |
| ·算法仿真 | 第45-48页 |
| ·系统误差仿真分析 | 第48-55页 |
| ·实验结果 | 第55-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第3章 基于旋转平均的斜入射绝对检测技术 | 第62-86页 |
| ·引言 | 第62-63页 |
| ·基于旋转平均的斜入射绝对检测方法 | 第63-83页 |
| ·原理 | 第63-67页 |
| ·误差分析 | 第67-70页 |
| ·系统误差 | 第67-69页 |
| ·随机误差 | 第69-70页 |
| ·仿真模拟 | 第70-75页 |
| ·算法仿真 | 第70-72页 |
| ·系统误差仿真分析 | 第72-75页 |
| ·适用条件 | 第75-79页 |
| ·实验验证 | 第79-83页 |
| ·本章小结 | 第83-86页 |
| 第4章 基于伪剪切的斜入射绝对检测技术 | 第86-96页 |
| ·引言 | 第86-87页 |
| ·基于伪剪切的斜入射绝对检测方法 | 第87-93页 |
| ·原理 | 第87-88页 |
| ·误差分析 | 第88-90页 |
| ·仿真模拟 | 第90-93页 |
| ·本章小结 | 第93-96页 |
| 第5章 总结与展望 | 第96-100页 |
| 参考文献 | 第100-110页 |
| 附录 A | 第110-112页 |
| 发表的学术论文 | 第112-114页 |
| 致谢 | 第114页 |
