钛合金的“电解—约束刻蚀”复合电化学加工研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-23页 |
| ·发展钛及其合金加工技术的意义 | 第8-9页 |
| ·电解加工 | 第9-10页 |
| ·复合电解加工技术 | 第10-12页 |
| ·电解电火花复合加工 | 第10-11页 |
| ·电解磨削复合加工 | 第11页 |
| ·电解光整复合加工 | 第11-12页 |
| ·微细电化学加工技术及其分类和应用 | 第12-21页 |
| ·掩膜微细电解加工 | 第12-13页 |
| ·脉冲电流电解加工 | 第13-14页 |
| ·LIGA技术 | 第14-16页 |
| ·EFAB技术 | 第16页 |
| ·基于扫描探针显微术的微细电解加工技术 | 第16-18页 |
| ·微细电解射流技术 | 第18-19页 |
| ·约束刻蚀剂层技术 | 第19-21页 |
| ·研究的内容 | 第21-23页 |
| 第二章 实验方法 | 第23-35页 |
| ·实验材料及药品 | 第23-24页 |
| ·实验所需的各类化学试剂 | 第23页 |
| ·实验所研究的基底材料以及前处理步骤 | 第23-24页 |
| ·其他实验装置所需的材料 | 第24页 |
| ·电解-刻蚀复合加工的工具电极制作 | 第24-26页 |
| ·镀Pt半球工作电极的制备 | 第25页 |
| ·Pt微细电极的制备 | 第25-26页 |
| ·加工电源 | 第26-27页 |
| ·电解池 | 第27-29页 |
| ·电解-约束刻蚀复合加工的对接方式的设想 | 第29-30页 |
| ·精密电化学加工设备 | 第30-33页 |
| ·实验装置原理图 | 第30-31页 |
| ·精密电化学微加工系统 | 第31-33页 |
| ·电化学微加工实验的操作步骤 | 第33页 |
| ·表征方法 | 第33-35页 |
| 第三章 钛合金约束刻蚀体系的研究和探讨 | 第35-45页 |
| ·前言 | 第35-36页 |
| ·钛合金约束刻蚀体系的选择 | 第36-37页 |
| ·钛合金约束刻蚀体系的电化学研究 | 第37-44页 |
| ·塔菲尔极化曲线分析 | 第37页 |
| ·钛合金在腐蚀体系中的失重实验 | 第37-39页 |
| ·循环伏安曲线分析 | 第39-41页 |
| ·交流阻抗及其结果分析 | 第41-44页 |
| ·结论 | 第44-45页 |
| 第四章 钛合金的电解-约束刻蚀复合加工研究 | 第45-68页 |
| ·前言 | 第45-46页 |
| ·单一电解液组分的电解加工实验 | 第46-48页 |
| ·电解-约束刻蚀复合电解液体系的筛选 | 第48-62页 |
| ·电解液体系的筛选 | 第49-52页 |
| ·复合电解液的单因素实验 | 第52-60页 |
| ·实验当中遇到的关键问题及解决方案 | 第60-61页 |
| ·复合电解液配方的确定 | 第61-62页 |
| ·单一的电解加工实验 | 第62-63页 |
| ·直流电源下进行单一电解加工 | 第62页 |
| ·脉冲电源进行单一电解加工 | 第62-63页 |
| ·电解-约束刻蚀复合加工 | 第63-64页 |
| ·占空比对电解加工的影响 | 第64-66页 |
| ·实验的最终结果 | 第66-67页 |
| ·结论 | 第67-68页 |
| 第五章 钛合金的微加工研究初步 | 第68-73页 |
| ·约束刻蚀体系的初步确定 | 第68-69页 |
| ·约束刻蚀电解液基本组成 | 第69页 |
| ·约束刻蚀反应过程 | 第69-70页 |
| ·金属钛的初步约束刻蚀微结构分析 | 第70-72页 |
| ·钛的约束刻蚀影响因素分析 | 第72页 |
| ·表面活性剂对刻蚀加工的影响 | 第72页 |
| ·电流密度对刻蚀加工的影响 | 第72页 |
| ·结论 | 第72-73页 |
| 第六章 探讨与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
