MEMS地震检波器测试方法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| ·地震检波器背景 | 第7页 |
| ·地震检波器研究目的 | 第7-8页 |
| ·地震检波器国内外现状 | 第8-11页 |
| ·论文研究内容及结构安排 | 第11-12页 |
| 第二章 MEMS 加速度计的理论基础 | 第12-23页 |
| ·MEMS 速度计的基本原理 | 第12-13页 |
| ·MEMS 加速度计传感器的分类 | 第13-14页 |
| ·MEMS 加速度计加工工艺 | 第14-16页 |
| ·体硅工艺 | 第14-15页 |
| ·表面硅工艺 | 第15页 |
| ·SOI 工艺 | 第15-16页 |
| ·MEMS 加速度计的工作模式 | 第16-19页 |
| ·开环方式 | 第16-17页 |
| ·闭环方式 | 第17-19页 |
| ·数字检波器与传统检波器的比较 | 第19-21页 |
| ·单个 MEMS 数字检波器与动圈式检波器比较 | 第19-20页 |
| ·单个 MEMS 检波器与动圈式检波器组合比较 | 第20-21页 |
| ·动圈检波器的改进 | 第21-22页 |
| ·小结 | 第22-23页 |
| 第三章 MEMS 电容式加速度计结构与性能指标 | 第23-31页 |
| ·MEMS 电容式加速度计的基本原理 | 第23-24页 |
| ·MEMS 微加速度计的结构模型 | 第24-25页 |
| ·MEMS 微加速度计主要性能指标的设计和控制 | 第25-30页 |
| ·气体阻尼 | 第26-28页 |
| ·机槭噪声 | 第28页 |
| ·刚度系数 | 第28-30页 |
| ·阻尼因子的控制 | 第30页 |
| ·灵敏度的控制 | 第30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 第四章 微小电容信号的检测方法 | 第31-41页 |
| ·微小电容信号的检测方法 | 第31-33页 |
| ·电容-频率 ( C f) | 第31页 |
| ·开关电容法 | 第31-32页 |
| ·电容电桥法 | 第32页 |
| ·电荷放大法 | 第32-33页 |
| ·信号检测电路的基本要求及实现方案 | 第33页 |
| ·微电容检测方法 | 第33-37页 |
| ·MEMS 加速度计读出电路的总体分析 | 第37-38页 |
| ·读出电路的噪声分析 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第五章 测试方法 | 第41-56页 |
| ·频率范围 | 第41-43页 |
| ·数字检波器振动台测试 | 第43-50页 |
| ·单频振动 | 第43-45页 |
| ·脉冲响应 | 第45-46页 |
| ·Chirp 信号响应 | 第46-48页 |
| ·检波器频率特性 | 第48-50页 |
| ·数字检波器与模拟检波器室内振动对比 | 第50-54页 |
| ·失真度 | 第51-53页 |
| ·动态范围 | 第53-54页 |
| ·结束语 | 第54-56页 |
| 第六章 总结 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第61-62页 |
| 详细摘要 | 第62-70页 |
