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铁氧体表面加工质量与使役性能的映射关系研究

中文摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-17页
   ·选题的背景与意义第7-8页
   ·铁氧体材料加工技术第8-9页
   ·CMP 技术介绍第9-10页
     ·CMP 原理第9-10页
     ·CMP 技术特点第10页
   ·CMP 机床分类第10-12页
   ·铁氧体材料研究状况第12-15页
     ·铁氧体材料的制备、成分研究状况第12-13页
     ·加工质量与铁氧体材料性能的研究状况第13-14页
     ·铁氧体材料特性的数值仿真状况第14-15页
   ·本课题的主要研究内容和总体研究方案第15-17页
第二章 铁氧体材料抛光工艺研究第17-44页
   ·CMP 抛光轨迹研究第17-34页
     ·行星轮系抛光轨迹第17-24页
     ·抛光头旋转式抛光轨迹第24-28页
     ·抛光头直线摆动式抛光轨迹第28-32页
     ·抛光头弧形摆动式抛光轨迹第32-34页
   ·抛光过程材料去除均匀性研究第34-42页
     ·研究对象与准备第34-36页
     ·抛光过程工件材料去除均匀性的数值分析第36-42页
   ·本章小结第42-44页
第三章 铁氧体材料抛光表面质量评价第44-57页
   ·铁氧体材料抛光表面质量评价第44-45页
   ·表面质量检测方法第45-47页
   ·铁氧体工件表面形貌与三维粗糙度测量实验第47-50页
     ·实验测量装置第47-48页
     ·实验方案与测量参数介绍第48-50页
   ·铁氧体工件表面质量的综合评价第50-56页
     ·损伤形式分析第50页
     ·A 组实验结果分析第50-53页
     ·B 组实验结果分析第53-55页
     ·A、B 组实验结果对比第55-56页
   ·本章小结第56-57页
第四章 铁氧体电磁性能有限元仿真研究第57-69页
   ·软磁 MnZn 铁氧体使役性能介绍第57-59页
     ·磁滞回线第57-58页
     ·初始磁导率第58页
     ·损耗角正切和品质因素第58页
     ·电感系数 AL与电感值 L第58-59页
   ·ANSOFT MAXWELL 电磁场有限元分析软件介绍第59-60页
   ·EE 型软磁铁氧体磁芯三维有限元仿真第60-61页
   ·仿真结果分析第61-68页
     ·损伤深度对 EE 型铁氧体磁芯电感的影响第62-64页
     ·损伤面积对 EE 型铁氧体磁芯电感的影响第64-65页
     ·损伤数量对 EE 型铁氧体磁芯电感的影响第65-67页
     ·工件表面微观不平整度对 EE 型铁氧体磁芯电感的影响第67-68页
   ·本章小结第68-69页
第五章 结论与展望第69-71页
   ·结论第69-70页
   ·展望第70-71页
参考文献第71-75页
发表论文和科研情况说明第75-76页
致谢第76页

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