| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·铁电薄膜材料 | 第9-11页 |
| ·薄膜材料 | 第9-10页 |
| ·铁电薄膜的性质及其应用 | 第10-11页 |
| ·薄膜中的残余应力 | 第11-15页 |
| ·薄膜中残余应力的来源 | 第11-13页 |
| ·薄膜残余应力测试方法 | 第13-15页 |
| ·铁电薄膜残余应力的研究概况 | 第15-17页 |
| ·残余应力对铁电薄膜性能的影响 | 第15-16页 |
| ·铁电薄膜残余应力的测试方法 | 第16-17页 |
| ·本文的选题依据和主要内容 | 第17-20页 |
| ·本文的选题依据 | 第18-19页 |
| ·本文的主要工作 | 第19-20页 |
| 第2章 取向平均方法估算铁电薄膜的表面残余应力 | 第20-34页 |
| ·取向平均方法 | 第20-24页 |
| ·取向分布函数描述的应变 | 第20-21页 |
| ·多晶薄膜中的离面应变 | 第21-22页 |
| ·各取向的离面应变与体积分数 | 第22-23页 |
| ·铁电薄膜的表面残余应力 | 第23-24页 |
| ·随机和择优取向 PZT 薄膜的表面残余应力 | 第24-27页 |
| ·样品选择与材料参数 | 第24-26页 |
| ·取向平均方法求表面残余应力 | 第26页 |
| ·制膜参数对残余应力的影响 | 第26-27页 |
| ·取向平均方法的可靠性 | 第27-32页 |
| ·传统和扩展 sin~2Ψ 法讨论取向平均方法可靠性 | 第27-28页 |
| ·残余应力来源分析取向平均方法可靠性 | 第28-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 NBT-KBT-100x 铁电薄膜中的残余应力 | 第34-44页 |
| ·NBT-KBT-100x 铁电薄膜的制备及微结构 | 第34-35页 |
| ·薄膜的制备 | 第34页 |
| ·XRD 结构分析 | 第34-35页 |
| ·NBT-KBT-100x 的电学特性测试 | 第35-37页 |
| ·NBT-KBT-100x 铁电薄膜的压电性能 | 第35-36页 |
| ·NBT-KBT-100x 铁电薄膜的介电性能 | 第36-37页 |
| ·NBT-KBT-100x 的力学特性测试 | 第37-39页 |
| ·弹性模量和硬度的测量原理 | 第37-38页 |
| ·弹性模量和硬度测试 | 第38-39页 |
| ·NBT-KBT-100x 的残余应力测试 | 第39-43页 |
| ·传统 sin~2Ψ 法测量残余应力的原理 | 第39-41页 |
| ·NBT-KBT-100x 铁电薄膜的残余应力 | 第41-42页 |
| ·钾含量对 NBT-KBT-100x 铁电薄膜残余应力影响的机理 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 晶粒应变模型估算铁电薄膜的残余应力 | 第44-56页 |
| ·晶粒应变模型 | 第44-49页 |
| ·坐标系的转换与取向平均 | 第44-45页 |
| ·薄膜中的四种应变 | 第45-48页 |
| ·压电本构方程求解薄膜界面处的残余应力 | 第48-49页 |
| ·压电本构方程求解薄膜表面处的残余应力 | 第49页 |
| ·c 轴取向 PZT 外延铁电薄膜的残余应力 | 第49-51页 |
| ·样品选择与材料参数 | 第49-50页 |
| ·晶粒应变模型求界面残余应力 | 第50-51页 |
| ·晶粒应变模型求表面残余应力 | 第51页 |
| ·晶粒应变模型的可靠性 | 第51-55页 |
| ·热力学理论分析残余应力简介 | 第51-53页 |
| ·界面残余应力的可靠性分析 | 第53-54页 |
| ·表面残余应力的可靠性分析 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·总结 | 第56-57页 |
| ·展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第64页 |
