非晶—微晶薄膜的转变研究
| 学位论文数据集 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-26页 |
| ·太阳能电池简介 | 第14-16页 |
| ·非晶硅薄膜 | 第16-20页 |
| ·非晶硅薄膜的概述 | 第16-17页 |
| ·非晶硅薄膜的性质 | 第17-18页 |
| ·非晶硅薄膜的制备 | 第18-19页 |
| ·非晶硅薄膜的应用 | 第19-20页 |
| ·微晶硅薄膜 | 第20-22页 |
| ·微晶硅薄膜的概述 | 第20页 |
| ·微晶硅薄膜的性质 | 第20页 |
| ·微晶硅薄膜的制备 | 第20-22页 |
| ·微晶硅薄膜的应用 | 第22页 |
| ·非晶硅-微晶硅薄膜的转化的研究现状 | 第22-23页 |
| ·本文的选题依据及主要研究内容 | 第23-26页 |
| ·选题依据 | 第23页 |
| ·研究的主要内容 | 第23-26页 |
| 第二章 实验部分 | 第26-46页 |
| ·非晶硅薄膜的制备 | 第26-35页 |
| ·实验原料与设备 | 第26页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第26-29页 |
| ·性能表征 | 第29页 |
| ·结果与讨论 | 第29-34页 |
| ·非晶硅薄膜的电学性能 | 第29-30页 |
| ·非晶硅薄膜的光学性能 | 第30-31页 |
| ·非晶硅薄膜正交实验的极差分析 | 第31-32页 |
| ·非晶硅薄膜的沉积速率与 SiH4 浓度的关系 | 第32-33页 |
| ·非晶硅薄膜的 XRD 分析 | 第33页 |
| ·非晶硅薄膜的 SEM 分析 | 第33-34页 |
| ·本节小结 | 第34-35页 |
| ·常规高温退火法制备非晶硅薄膜 | 第35-41页 |
| ·实验原料与设备 | 第35-36页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第36-38页 |
| ·结果与讨论 | 第38-41页 |
| ·微晶硅薄膜的制备温度与晶粒大小的关系 | 第38页 |
| ·微晶硅薄膜的晶粒尺寸的极差分析 | 第38-39页 |
| ·微晶硅薄膜的 XRD 分析 | 第39页 |
| ·微晶硅薄膜的 SEM 分析 | 第39-40页 |
| ·微晶硅薄膜的拉曼光谱分析 | 第40-41页 |
| ·结果与讨论 | 第41页 |
| ·微波法制备微晶硅薄膜 | 第41-46页 |
| ·实验原料与设备 | 第41页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第41-43页 |
| ·性能表征 | 第43页 |
| ·结果与讨论 | 第43-45页 |
| ·微波法制备微晶硅的 XRD 分析 | 第43-44页 |
| ·微波法制备微晶硅的 SEM 分析 | 第44页 |
| ·微波法制备微晶硅的拉曼光谱分析 | 第44-45页 |
| ·结果与结论 | 第45-46页 |
| 第三章 结论 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 致谢 | 第52-54页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第54页 |
