| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 引言 | 第10-12页 |
| ·课题研究背景 | 第10-11页 |
| ·微电子工业的发展 | 第10页 |
| ·电子化学品简介 | 第10-11页 |
| ·课题研究内容 | 第11-12页 |
| 第2章 文献综述 | 第12-21页 |
| ·痕量离子分析测试 | 第12-14页 |
| ·离子色谱法(IC) | 第12页 |
| ·石墨炉原子吸收光谱(AAS) | 第12-13页 |
| ·电感耦合等离子体发射光谱(ICP-AES) | 第13页 |
| ·电感耦合等离子体质谱(ICP-MS) | 第13-14页 |
| ·样品预处理 | 第14-19页 |
| ·湿法消解 | 第14-15页 |
| ·干法灰化 | 第15-16页 |
| ·微波消解 | 第16-17页 |
| ·离子交换 | 第17-18页 |
| ·阀切换技术 | 第18-19页 |
| ·纯化方法 | 第19-21页 |
| ·离子交换法 | 第19页 |
| ·离子膜电渗析法 | 第19-20页 |
| ·其他纯化方法 | 第20-21页 |
| 第3章 分析测试 | 第21-36页 |
| ·四丁基溴化铵的浓度测定 | 第21页 |
| ·实验试剂及器材 | 第21页 |
| ·样品分析 | 第21页 |
| ·金属离子的测定 | 第21-30页 |
| ·离子色谱法的原理及优点 | 第22页 |
| ·离子色谱分析检测较高浓度的金属阳离子 | 第22-27页 |
| ·离子色谱分析检测较低浓度的金属阳离子 | 第27-30页 |
| ·进样环及稀释倍数的选择 | 第30-33页 |
| ·进样体积的影响 | 第30-31页 |
| ·稀释倍数的影响 | 第31-33页 |
| ·痕量离子分析测试配套技术 | 第33-34页 |
| ·分析测试环境 | 第33页 |
| ·移液枪及枪头 | 第33-34页 |
| ·取样瓶材质 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第4章 样品前处理 | 第36-51页 |
| ·湿法消解 | 第36-38页 |
| ·单一硝酸消解 | 第36-37页 |
| ·硝酸-高氯酸消解 | 第37-38页 |
| ·干法灰化 | 第38-39页 |
| ·离子交换 | 第39-40页 |
| ·实验装置 | 第39-40页 |
| ·操作流程 | 第40页 |
| ·OnGuard ⅡH柱 | 第40-43页 |
| ·OnGuard ⅡH柱对四丁基铵根离子的吸附效果 | 第41页 |
| ·OnGuard ⅡH柱对钠钾离子的吸附效果 | 第41-42页 |
| ·OnGuard ⅡH柱对离子的脱附效果 | 第42-43页 |
| ·CG12A保护柱 | 第43-44页 |
| ·自组装离子交换柱 | 第44-49页 |
| ·离子交换树脂的预处理 | 第44-45页 |
| ·离子交换树脂的选择 | 第45-46页 |
| ·离子交换树脂吸附交换钠钾离子 | 第46页 |
| ·离子交换树脂的离子洗脱 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第5章 电化学方法脱除原料中的金属离子 | 第51-68页 |
| ·离子膜的筛选 | 第51-56页 |
| ·CF膜 | 第51-54页 |
| ·CM膜 | 第54-55页 |
| ·CV膜 | 第55-56页 |
| ·电化学提纯装置 | 第56-57页 |
| ·电化学提纯原理 | 第57页 |
| ·电化学提纯工艺研究 | 第57-66页 |
| ·电压影响 | 第57-60页 |
| ·电流影响 | 第60-61页 |
| ·原料浓度影响 | 第61-63页 |
| ·杂质离子浓度影响 | 第63-64页 |
| ·其他季铵类物质的电化学提纯 | 第64-66页 |
| ·浓差扩散影响 | 第66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第6章 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74页 |