平面光波导分光器晶片切割加工工艺与技术的研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第1章 前言 | 第7-20页 |
| ·研究背景及选题意义 | 第7-8页 |
| ·文献综述 | 第8-19页 |
| ·光通信及无源光网络介绍 | 第8-12页 |
| ·平面光波导分光器的原理 | 第12页 |
| ·平面光波导分光器晶片的材料和制造工艺 | 第12-14页 |
| ·平面光波导分光器晶片材料的基本特性 | 第14-16页 |
| ·金刚石刀具介绍 | 第16-19页 |
| ·论文研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 实验技术与工作原理 | 第20-28页 |
| ·平面光波导分光器晶片切割时的结构特征 | 第20-21页 |
| ·切割机器介绍 | 第21-22页 |
| ·切割加工过程中存在的问题 | 第22-25页 |
| ·测量技术与设备 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 平面光波导分光器晶片切割工序研究 | 第28-39页 |
| ·切割夹具平行度对切割性能影响的研究 | 第28-29页 |
| ·粘接介质对切割性能影响的研究 | 第29-32页 |
| ·粘接剂的选择 | 第30页 |
| ·粘接操作的关键技术点 | 第30-31页 |
| ·平面光波导分光器晶片加工中的粘接技术 | 第31-32页 |
| ·机器工艺参数对金刚石刀具磨损的研究 | 第32-38页 |
| ·实验刀具的选择 | 第33页 |
| ·实验测量与数据收集 | 第33页 |
| ·实验参数的选取 | 第33-34页 |
| ·实验结果 | 第34-35页 |
| ·极差分析实验结果 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 金刚石刀具对切割性能影响的研究 | 第39-68页 |
| ·影响金刚石刀具使用寿命和切割性能的因素 | 第39-43页 |
| ·机器工艺参数的影响及选择 | 第41页 |
| ·刀具性能的影响及选择 | 第41-43页 |
| ·金刚石刀具修整研究 | 第43-47页 |
| ·修整刀具砂板的选择 | 第43-44页 |
| ·修整砂板对金刚石刀具性能影响的实验研究 | 第44页 |
| ·实验结果 | 第44-47页 |
| ·金刚石刀具对切割性能影响的研究 | 第47-66页 |
| ·金刚石颗粒大小对切割性能影响的研究 | 第47-53页 |
| ·金刚石密度对切割性能影响的研究 | 第53-60页 |
| ·粘接材料对切割性能影响的研究 | 第60-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第5章 改善方案及验证 | 第68-72页 |
| ·改善方案的设计与实施 | 第68-69页 |
| ·实验数据的分析 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第6章 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第76页 |
