| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 前言 | 第9-19页 |
| ·紫外光(UV)固化技术 | 第9-10页 |
| ·紫外光(UV)固化简介 | 第9页 |
| ·紫外光(UV)固化机理 | 第9-10页 |
| ·紫外光(UV)固化体系组成 | 第10-16页 |
| ·光固化树脂 | 第10-14页 |
| ·光引发剂 | 第14-15页 |
| ·光活性单体 | 第15页 |
| ·其他组分 | 第15-16页 |
| ·混杂固化体系研究现状 | 第16-18页 |
| ·自由基-阳离子混杂光固化 | 第16-17页 |
| ·双重固化 | 第17-18页 |
| ·本课题的研究目的和内容 | 第18-19页 |
| 第二章 碱溶性丙烯酸光敏树脂PSMMB-G 的合成及应用 | 第19-33页 |
| ·引言 | 第19-21页 |
| ·实验部分 | 第21-24页 |
| ·实验原料 | 第21页 |
| ·实验仪器及设备 | 第21页 |
| ·树脂合成 | 第21-23页 |
| ·分析测试方法 | 第23-24页 |
| ·结果与讨论 | 第24-31页 |
| ·PSMMB 合成单体转化率的测定 | 第24-25页 |
| ·PSMMB 红外光谱分析 | 第25页 |
| ·PSMMB 玻璃化转变温度(Tg) | 第25-26页 |
| ·溶剂种类对PSMMB 分子量及分布的影响 | 第26-27页 |
| ·引发剂用量对PSMMB 分子量及分布的影响 | 第27页 |
| ·反应温度对PSMMB 分子量及分布的影响 | 第27-28页 |
| ·溶剂含量对PSMMB 分子量及分布的影响 | 第28-29页 |
| ·PSMMB-G 红外光谱分析 | 第29页 |
| ·PSMMB-G 碱溶性和光敏性研究 | 第29-30页 |
| ·PSMMB-G 在光致抗蚀剂中的应用 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 碱溶性丙烯酸光敏树脂PHMSB-T-G 的合成及应用 | 第33-45页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·实验部分 | 第33-36页 |
| ·实验原料 | 第33-34页 |
| ·实验仪器及设备 | 第34页 |
| ·树脂合成 | 第34-35页 |
| ·分析测试方法 | 第35-36页 |
| ·结果讨论 | 第36-43页 |
| ·树脂合成工艺研究 | 第36-38页 |
| ·树脂结构表征 | 第38-40页 |
| ·树脂分子量、粘度和玻璃化转变温度(Tg)研究 | 第40-41页 |
| ·PHMSB-T-G 在光致抗蚀剂中的应用 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 自由基-阳离子混杂光固化树脂的合成 | 第45-55页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·实验部分 | 第45-47页 |
| ·实验原料 | 第45-46页 |
| ·实验仪器及设备 | 第46页 |
| ·树脂合成 | 第46页 |
| ·分析测试方法 | 第46-47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-53页 |
| ·催化剂种类对反应的影响 | 第47-48页 |
| ·催化剂用量对反应的影响 | 第48页 |
| ·反应温度对反应的影响 | 第48-49页 |
| ·阻聚剂种类对反应的影响 | 第49-50页 |
| ·不同环氧开环比对反应的影响 | 第50页 |
| ·树脂红外光谱分析 | 第50-51页 |
| ·树脂核磁共振波谱分析 | 第51页 |
| ·树脂流变性能研究 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 自由基-阳离子混杂光固化过程及涂层性能研究 | 第55-65页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·实验部分 | 第55-57页 |
| ·实验原料 | 第55页 |
| ·实验仪器及设备 | 第55-56页 |
| ·分析测试方法 | 第56-57页 |
| ·结果与讨论 | 第57-64页 |
| ·混杂固化过程研究 | 第57-61页 |
| ·混杂固化涂层性能研究 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 结论与展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 附录：作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第73页 |
